[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，具备：

光束点生成单元，其接受光源光并以规定间隔相互错开地至少排列成2列，从而生成多个光束点；

光扫描单元，其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各自的规定范围内进行往返扫描；

图案产生器，其被配置为使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致，且通过对多个开关元件进行接通/断开驱动，从而对上述光源光进行光调制来生成规定的明暗图案，其中，上述多个开关元件在与上述中心轴平行的对置面设置了一对电极，形状为方柱状，由电光晶体材料构成；和

投影透镜，其将上述明暗图案投影在被曝光体上，

使上述各开关元件在上述光束点的扫描方向的宽度比上述光束点在相同方向的宽度大。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

上述光束点生成单元是在平面内排列多个聚光透镜而成的微透镜阵列。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

上述光束点生成单元是在平面内排列多个开口而成的光掩模。

4.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

上述光扫描单元，在方形块状的电光晶体材料的对置侧面使规定宽度的一对带状电极按照其长边中心轴与上述侧面的长宽中的任一方的中心轴呈规定角度的方式形成倾斜，并使光在该一对电极之间通过。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

上述被曝光体被设置为沿着与上述光束点的扫描方向大致正交的方向连续地移动。