[发明专利]太阳能电池单元的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池单元的制造方法，包括在半导体基板（1）的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液（5a）的工序、以及对涂布有所述防反射膜形成用溶液（5a）的所述半导体基板（1）进行加热的工序，在涂布所述防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，所述防反射膜形成用溶液（5a）在水含量为0g/m³～9.4g/m³的环境下涂布。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述防反射膜形成用溶液（5a）含有用于在所述半导体基板（1）上形成pn接合的掺杂剂。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述防反射膜形成用溶液（5a）含有用于在所述半导体基板（1）上形成n型掺杂剂扩散层（4）的掺杂剂。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，在涂布所述防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，所述防反射膜形成用溶液（5a）在所述环境含有干燥气体（7）的环境下涂布。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，在涂布所述防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，一边向所述环境中导入干燥气体（7）一边涂布所述防反射膜形成用溶液（5a）。

6.根据权利要求4或5所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述干燥气体（7）含有选自氧、氮、氦、氖、氩、氪、氙以及氡中的至少1种。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述防反射膜形成用溶液（5a）是含有烷氧基钛的溶液。