[发明专利]直线淀积源

权利要求书

1.一种淀积源，该淀积源包括：

a）坩锅，所述坩锅用来包含淀积材料；

b）本体，所述本体包括传导通道，所述传导通道的输入部联接到所述坩锅的输出部上；

c）加热器，所述加热器定位成与所述坩锅以及所述传导通道热连通，所述加热器升高所述坩锅的温度，使得所述坩锅将所述淀积材料蒸发到所述传导通道中；以及

d）多个喷嘴，所述多个喷嘴中的每一个喷嘴的输入部联接到所述传导通道的输出部上，使得被蒸发的淀积材料从所述坩锅通过所述传导通道运输到所述多个喷嘴，从而，被蒸发的淀积材料从所述多个喷嘴排出，以形成淀积通量，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴包括管子，所述管子定位成靠近所述传导通道，从而所述管子限制供给到包括所述管子的喷嘴的淀积材料的量。

2.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述管子的长度被选择为用以实现通过包括所述管子的喷嘴的预定淀积通量。

3.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述管子至少部分地布置到所述传导通道中。

4.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少两个喷嘴包括管子，所述管子限制供给到其对应喷嘴的材料的量，与所述多个喷嘴中的一个喷嘴相对应的管子的长度，不同于与所述多个喷嘴中的至少另一个喷嘴相对应的管子的长度。

5.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少两个喷嘴包括管子，所述管子限制供给到其对应喷嘴的材料的量，与所述多个喷嘴中的一个喷嘴相对应的管子的几何形状，不同于与所述多个喷嘴中的至少另一个喷嘴相对应的管子的几何形状。

6.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴的顶部延伸到所述传导通道的上方。

7.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴的顶部延伸到所述传导通道内。

8.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴的间隔是不均匀的。

9.根据权利要求1所述的淀积源，其中，在所述本体的边缘附近的所述多个喷嘴的间隔，比接近所述本体的中心的所述多个喷嘴的间隔更为紧密。

10.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴的间隔被选择为用以实现从所述多个喷嘴排出基本均匀的淀积材料通量。

11.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴的间隔被选择为用以增进淀积材料的利用率。

12.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴的间隔被选择成用以提供从所述多个喷嘴排出的淀积通量的所需重叠。

13.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴的输出孔口相对于所述传导通道的顶部表面的法向角按一定角度定位，所述一定角度被选择成用以提供从所述多个喷嘴排出的淀积通量的所需重叠。

14.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴包括输出孔口，所述输出孔口被成形为用以传送不均匀的淀积通量。

15.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴在外表面上包括低发射率涂层。

16.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴由具有一种导热率的材料形成，其导致基本均匀的操作温度，从而减少来自喷嘴的淀积材料的喷溅。

17.根据权利要求1所述的淀积源，其中，所述加热器是RF感应加热器、电阻加热器以及红外加热器中的至少一种。