[发明专利]化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备，包括：

多个反应腔，被配置为通过闸门使衬底进入所述反应腔中并且对装载到所述反应腔中的衬底支撑件的上表面上的所述衬底进行处理；

缓冲腔，被配置为与所述多个反应腔耦接并且当所述衬底从所述多个反应腔中的任意一个中被取出，然后被送入所述多个反应腔中的另一个反应腔时，使得所述衬底穿过所述缓冲腔；

加热器，设置在所述多个反应腔或所述缓冲腔中；

气体供应装置，被配置为向所述多个反应腔供应处理气体；

第一方向传输单元，被配置为将上面装载有所述衬底的板从所述反应腔传输到所述缓冲腔或从所述缓冲腔传输到所述反应腔；以及

第二方向传输单元，被配置为将放置在所述多个反应腔中的任意一个的闸门前面的所述板或所述衬底传输到所述多个反应腔中的另一个的闸门。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其中，所述多个反应腔布置为一排。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其中，所述第一方向传输单元包括致动器单元，所述致动器单元位于所述缓冲腔之外并且被配置为将所述板从所述反应腔传输到所述缓冲腔或从所述缓冲腔传输到所述反应腔。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积设备，其中：

所述致动器单元包括与所述反应腔的数量相等的多个致动器，并且

所述板与每个所述致动器耦接。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积设备，其中，所述第二方向传输单元包括位于所述缓冲腔之内或之外的机器人臂，从而将装载到多个所述板中的任意一个上的衬底传输到多个所述板中的另一个。

6.根据权利要求4所述的化学气相沉积设备，

其中，所述板与所述致动器可拆卸地耦接，并且

进一步包括输送机单元，该输送机单元被配置为将位于所述多个反应腔中的任意一个的闸门前面并且与所述致动器分离的所述板传输到所述多个反应腔中的另一个的闸门。

7.根据权利要求3所述的化学气相沉积设备，其中，所述第二方向传输单元进一步包括用于传输所述致动器单元的致动器传输单元，从而将位于所述多个反应腔中的任意一个的闸门前面的所述板放置在所述多个反应腔中的另一个的闸门前面。

8.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其中，所述第一方向传输单元包括位于所述缓冲腔中并且与所述板耦接的辊单元，以便将所述板从所述反应腔传输到所述缓冲腔或从所述缓冲腔传输到所述反应腔。

9.根据权利要求3所述的化学气相沉积设备，其中，所述第二方向传输单元包括机器人臂，该机器人臂位于所述缓冲腔之外并且被配置为抓住被装载到位于所述多个反应腔中任意一个的闸门前面的板上的所述衬底，并且将所述衬底传输到位于所述多个反应腔中的另一个的闸门之前的板。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其中，所述第二方向传输单元进一步包括位于所述缓冲腔之外的机器人臂传输轨，从而滑动和传输所述机器人臂。

11.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其中，所述第二方向传输单元进一步包括位于所述缓冲腔之外的机器人臂传输轨，从而滑动和传输所述机器人臂。

12.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其中，将多个所述衬底装载到基座上，并且将所述基座装载到所述板上，从而传输多个所述衬底。

13.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，进一步包括升降单元，所述升降单元位于所述反应腔内或所述缓冲腔内并且被配置为抬升所述衬底，从而将所述衬底装载到所述板上。

14.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备，其中，所述处理气体包括III族元素和V族元素。

15.根据权利要求14所述的化学气相沉积设备，其中，所述III族元素包括铝（Al）、镓（Ga）和铟（In）中的至少一种。