[发明专利]流量检测装置

权利要求书

1.一种流量检测装置，具备输出与气体的流量对应的输出值的流量计，通过基于从该流量计输出的输出值算出气体流量来检测气体的流量，其中，

基于通过所述流量计的气体的流量和该流量的变化率来判断是否应该校正从所述流量计输出的输出值，在判断为应该校正从所述流量计输出的输出值时，从所述流量计输出的输出值被校正，基于该校正后的输出值来算出气体的流量。

2.根据权利要求1所述的流量检测装置，其中，

基于通过所述流量计的气体的流量和该流量的变化率来判断通过所述流量计的气体的状态是否从层流状态向紊流状态转移或者是否从紊流状态向层流状态转移、或者通过所述流量计的气体的流动方向是否发生了逆转，在判断为通过所述流量计的气体的状态从层流状态向紊流状态转移或者从紊流状态向层流状态转移、或者通过所述流量计的气体的流动方向发生了逆转时，判断为应该对从所述流量计输出的输出值进行校正。

3.根据权利要求2所述的流量检测装置，其中，

预先求出由通过所述流量计的气体的状态从层流状态向紊流状态转移时的通过所述流量计的气体的流量和该流量的增大率而规定的点，作为流量增大时迁移点，预先求出由通过所述流量计的气体的状态从紊流状态向层流状态转移时的通过所述流量计的气体的流量和该流量的减少率而规定的点，作为流量减少时迁移点，

在通过所述流量计的气体的流量增大时，判断由该流量和该流量的增大率规定的点是否处于所述流量增大时迁移点，在判断为由通过所述流量计的气体的流量和该流量的增大率规定的点处于所述流量增大时迁移点时，判断为通过所述流量计的气体的状态已从层流状态向紊流状态转移，

在通过所述流量计的气体的流量减少时，判断由该流量和该流量的减少率规定的点是否处于所述流量减少时迁移点，在判断为由通过所述流量计的气体的流量和该流量的减少率规定的点处于所述流量减少时迁移点时，判断为通过所述流量计的气体的状态已从紊流状态向层流状态转移。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的流量检测装置，其中，

预先求出在气体的流量的变化率为零或者大致为零时从所述流量计输出的输出值与此时的气体的流量之间的关系，基于从所述流量计输出的输出值或者所述校正后的输出值，根据所述预先求出的关系来算出气体的流量。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的流量检测装置，其中，

从所述流量计输出的输出值被校正时的针对该输出值的校正的程度根据通过所述流量计的气体的流量和该流量的变化率中的至少一个来决定。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的流量检测装置，其中，

在从所述流量计输出的输出值被校正之前除去该输出值的一次延迟，在判断为应该校正从所述流量计输出的输出值时，校正所述一次延迟被除去后的输出值，基于该校正后的输出值来算出气体的流量。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的流量检测装置，其中，

所述流量计是硅芯片型的流量计。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的流量检测装置，其中，

所述流量计具有被施加电压而发热的发热电阻体，所述发热电阻体被施加与通过所述流量计的气体从所述发热电阻体获取的热量对应的电压，所述流量计输出与由通过该流量计的气体从所述发热电阻元件获取的热量对应的输出值。