[发明专利]连续涂布设备

权利要求书

1.一种连续涂布设备，包括：

一个真空室单元，一个涂布目标穿过该真空室单元；

一个悬浮加热单元，布置在所述真空室单元中且通过将供给的涂布材料气化来产生蒸发蒸气；以及

一个液态涂布材料供给单元，该液态涂布材料供给单元被连接以使得液态涂布材料被供给至所述悬浮加热单元的上部和下部中的至少一个，并且该液态涂布材料供给单元与所述真空室单元的外部连通。

2.根据权利要求1所述的连续涂布设备，其中所述悬浮加热单元包括一个或多个电磁线圈，所述电磁该圈通过电磁力将供给的涂布材料悬浮和加热，以及产生蒸发蒸气。

3.根据权利要求1所述的连续涂布设备，其中所述液态涂布材料供给单元包括：

一个坩埚，布置在所述真空室的外部，并储存所述液态涂布材料；以及

一个涂布材料供给管，连接在所述坩埚和布置在所述真空室单元内部的所述悬浮加热单元之间。

4.根据权利要求1所述的连续涂布设备，还包括一个在所述真空室单元内部的蒸气引导单元，该蒸气引导单元连接至所述液态涂布材料供给单元，并包围所述悬浮加热单元的至少一部分，以使得从所述悬浮加热单元内部产生的蒸发蒸气被引导和喷射至所述涂布目标。

5.根据权利要求4所述的连续涂布设备，其中所述蒸气引导单元包括：

一个蒸发蒸气产生段，所述液态涂布材料被供给在该蒸发蒸气产生段中，该蒸发蒸气产生段包围所述悬浮加热单元，设置在所述液态涂布材料供给单元中的所述涂布材料供给管连接至所述蒸发蒸气产生段的上部和下部中的一个；以及

一个蒸气引导段的至少一个蒸发蒸气喷嘴段，所述蒸气引导段连接至所述蒸发蒸气产生段，且所述蒸发蒸气喷嘴段连接至所述蒸发蒸气产生段或所述蒸气引导段；

其中，所述蒸发蒸气喷嘴段包括一个蒸发蒸气喷射口，该蒸发蒸气喷射口被形成为与所述涂布目标的宽度一致。

6.根据权利要求5所述的连续涂布设备，其中，

所述蒸气引导单元的所述蒸发蒸气产生段和所述蒸气引导段以管的形式提供，

所述蒸发蒸气产生段由不导电材料制成，且

所述蒸气引导单元的所述蒸气引导段和所述蒸发蒸气喷嘴段中的至少一个连接至一个加热单元。

7.根据权利要求5所述的连续涂布设备，还包括一个过滤器构件，该过滤器构件布置在设在所述蒸发蒸气喷嘴段中的所述蒸发蒸气喷射口附近，以使得蒸发蒸气穿过该过滤器构件，该过滤器构件由使用耐热金属或陶瓷材料的织物结构制成。

8.根据权利要求3所述的连续涂布设备，还包括以下中的至少一个：

一个阀单元，该阀单元设置在所述涂布材料供给管中；以及

一个浸入式阀单元，该浸入式阀单元包括设置在一个升降构件的下部的开/关构件，该升降构件的一部分浸入储存在所述坩埚中的涂布材料中，以使得该浸入式阀单元控制所述涂布材料供给管的开/关程度，由此控制涂布材料的供给流量。

9.根据权利要求3所述的连续涂布设备，还包括加热单元，该加热单元分别连接至设置在所述液态涂布材料供给单元中的所述坩埚和所述供给管。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的连续涂布设备，其中所述涂布目标以连续通过所述真空室的基材的形式提供，且所述液态涂布材料以熔化金属的形式提供。

11.根据权利要求6至9中任一项所述的连续涂布设备，其中，布置在所述蒸气引导单元处的所述加热单元或布置在所述供给管处的加热单元以等于布置为与所述加热单元相邻并缠绕的所述电磁线圈的内直径的距离的至少一倍间隔开，或以等于布置为与所述加热单元相邻并缠绕的所述电磁线圈的内半径的距离的至少二倍间隔开。