[发明专利]连续涂布设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种连续涂布设备，更具体而言，涉及一种能在基材（金属带）上进行高速涂布的连续涂布设备，该基材是一个移动的涂布目标。尤其，本发明涉及如下一种连续涂布设备，该连续涂布设备能通过多种路径向悬浮加热空间供给液态涂布材料（熔化金属），能容易控制液态涂布材料的供给流量，并且结构简单。

背景技术

在真空环境中，通过已知的蒸发方法，能将熔化金属涂布在基材上，该基材例如是一个连续移动的基材（金属带）。

例如，通过加热和气化使固态涂布材料转变成蒸气并将该蒸气涂布（蒸发）在基材上的技术被分类为依赖加热法的技术。真空蒸发技术的典型实例包括热蒸发、电子束蒸发、电磁悬浮蒸发等。

对于热蒸发技术，涂布材料被电阻加热和气化，然后被涂布在基材上。然而，热蒸发技术对于用电阻加热来加热涂布材料有限制。由于难于用热蒸发技术涂布高熔点材料，例如钛（Ti）和铬（Gr），热蒸发技术用于涂布如锌（Zn）或镁（Mg）的低熔点材料。

另外，热蒸发技术对于其涂布速度有限制。例如，镁的涂布速度仅有30μm·m/min。

对于电子束蒸发技术，固态涂布材料被装载在坩埚中且被电子束局部加热。以此方式，高熔点的材料被气化和涂布。但是，气化材料与坩埚之间的接触导致的热损失降低了能量效率和涂布速度。例如，金属铝的涂布速度仅有20μm·m/min。

同时，在PCT国际公开文献NO.WO2006/021245(韩国专利申请No.2007-7006446)或美国专利公开文献No.2005/0064110中公开了其他的蒸发技术。

特别地，通过在高频交流电施加至包围涂布材料的电磁线圈时产生的交变电磁场，涂布材料被加热成悬浮状态。因此，产生金属（涂布）蒸气，并涂布在基材上，没有因坩埚导致的热损失。

然而，上述PCT国际公开文献（上述韩国专利申请）仅提出通过交变电磁场凭借悬浮和加热进行涂布的基本概念。在上述美国专利公开文献的情形中，基材以气化空间被真空隔离的状态被涂布。但是，由于涂布材料是通过固态金属丝给料器供给的，因此金属丝（其是涂布材料）的供给路径（位置）被限制仅在侧边（水平方向）。

此外，在上述美国专利公开文献的情形中，固态金属丝被供用至形成交变电磁场的空间中，然后被悬浮和加热。因此，与液态材料相比，由于加热负荷增加，固态金属丝的涂布速度降低或成本增加。

发明内容

技术问题

本发明的一个方面提供了一种能在是移动的涂布目标的基材（金属带）上进行高速涂布的连续涂布设备，具体地，该连续涂布设备能通过多个路径向悬浮加热空间供给液态涂布材料（熔化金属）。

本发明的一个方面还提供了一种连续涂布设备，该连续涂布设备能容易控制液态涂布材料的供给流量，能提高涂布可操作性和精度，并且具有简化的结构。

问题解决方案

根据本发明的一个方面，提供一种连续涂布设备，包括：一个真空室单元，一个涂布目标穿过该真空室单元；一个悬浮加热单元，布置在所述真空室单元中，并通过将供给的涂布材料气化来产生蒸发蒸气；以及一个液态涂布材料供给单元，该液态涂布材料供给单元被连接以使得液态涂布材料被供给至所述悬浮加热单元的上部和下部中的至少一个，并且该液态涂布材料供给单元与所述真空室单元的外部连通。

所述悬浮加热单元可包括一个或多个电磁线圈，所述电磁线圈通过电磁力将供给的涂布材料悬浮和加热，以及产生蒸发蒸气。

所述液态涂布材料供给单元可包括:一个坩埚，其布置在所述真空室的外部，并储存液态涂布材料；以及，一个涂布材料供给管，其连接在所述坩埚和布置在所述真空室单元内部的所述悬浮加热单元之间。

所述连续涂布设备还可包括一个在所述真空室单元内部的蒸气引导单元，该蒸气引导单元连接至所述液态涂布材料供给单元，且该蒸气引导单元包围所述悬浮加热单元的至少一部分，以使得从所述悬浮加热单元内部产生的蒸发蒸气被引导并喷射到涂布目标上。

所述蒸气引导单元可包括：一个蒸发蒸气产生段，其向其内部供给液态涂布材料并且包围所述悬浮加热单元，设置在所述液态涂布材料供给单元中的所述涂布材料供给管连接至所述蒸发蒸气产生段的上部和下部中的一个；一个蒸气引导段的至少一个蒸发蒸气喷嘴段，该蒸气引导段连接至所述蒸发蒸气产生段，且所述蒸发蒸气喷嘴段连接至所述蒸发蒸气产生段或所述蒸气引导段；所述蒸发蒸气喷嘴段包括一个蒸发蒸气喷射口，该蒸发蒸气喷射口被形成为与所述涂布目标的宽度一致。