[发明专利]正型光敏组合物

权利要求书

1.一种光敏树脂组合物，基于100重量份的聚酰胺衍生物，该光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物，和5到30重量份的光致生成酸化合物。

2.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述聚酰胺衍生物由以下化学式1表示：

[化学式1]

其中R¹、R²、R⁴和R⁵各自独立地表示具有至少2个碳原子的二价到六价的芳基；R³表示氢原子或者具有1到10个碳原子的烷基；k表示10到1000的整数；l表示1到1000的整数；n和m各自独立地表示0到2的整数(n+m＞0)；且X表示氢原子或者具有2到30个碳原子的芳基。

3.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述聚酰胺衍生物化合物由以下化学式2表示：

[化学式2]

其中R¹和R²各自独立地表示具有至少2个碳原子的二价到六价的芳基；R³表示氢原子或者具有1到10个碳原子的烷基；l表示10到1000的整数；n和m各自独立地表示0到2的整数(n+m＞0)；X表示氢原子或者具有2到30个碳原子的芳基。

4.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述多面体低聚硅倍半氧烷衍生物可由以下化学式3表示：

[化学式3]

(RSiO_3/2)_n，

R表示氢原子，具有1到30个碳原子的取代或未取代的脂肪族或芳香族单键，以及包含硅、氧、硫和氮中的一种的有机基中的一个，且n表示6到14的一个整数。

5.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述多面体低聚硅倍半氧烷衍生物可由以下化学式4表示：

[化学式4]

(RSiO_3/2)₁(RXSiO)_m，

R表示氢原子，具有1到30个碳原子的取代或未取代的脂肪族或芳香族单键，以及包含硅、氧、硫和氮中的一种的有机基中的一个，X表示O R′，R′表示氢原子、烷基、芳基和卤原子中的一种，l表示一个4到15的整数，且k表示一个1到5的整数。

6.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述光致生成酸化合物包含重氮萘酚。

7.如权利要求1所述的光敏树脂组合物，进一步包括从由防腐蚀制剂、表面活性剂和防泡剂组成的组中选择的至少一种添加剂。

8.一种图案形成方法，包括：

在基板上施加光敏树脂组合物，基于100重量份的聚酰胺衍生物，所述光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物，和5到30重量份的光致生成酸化合物；

干燥施加了所述光敏树脂组合物的基板；

曝光被干燥的所述基板；

显影经曝光的基板；且

热处理经显影的基板。

9.一种包含以图案形成方法形成的图案层的半导体设备，所述图案形成方法包括：

在基板上施加光敏树脂组合物，基于100重量份的聚酰胺衍生物，所述光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物，和5到30重量份的光致生成酸化合物；

干燥施加了所述光敏树脂组合物的基板；

曝光被干燥的所述基板；

显影经曝光的基板；且

热处理经显影的基板。