[发明专利]金属氧化物多晶体无效
| 申请号： | 201110006528.6 | 申请日： | 2011-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102127736A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 增田彰;高崎薰;财田真人 | 申请（专利权）人： | 宇部材料工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/30;C30B28/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 庞立志;高旭轶 |
| 地址： | 日本国山*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 多晶体 | ||
1.金属氧化物多晶体，其是由以摩尔比计为0.2∶0.8～0.8∶0.2的范围的比例含有锶和钙的结晶粒子形成的金属氧化物多晶体，其中，在将锶和钙的总摩尔量设为100摩尔时，以0.0005～20摩尔的范围的量含有选自由硅、铝、钛、锆和稀土类元素构成的组中的一种以上的金属元素，并且平均孔径在0.01～0.50μm的范围。
2.权利要求1所述的金属氧化物多晶体，其中，相对密度为90%以上。
3.权利要求1所述的金属氧化物多晶体，其中，金属元素为选自由硅、铝、钛、镝构成的组中的一种以上的金属元素。
4.含有锶和钙的金属氧化物膜的制造方法，包括：在减压下对权利要求1所述的金属氧化物多晶体照射电子束，使含有锶和钙的氧化物气化，并将气化了的氧化物堆积于基板之上。
5.权利要求1所述的金属氧化物多晶体的制造方法，包括：将以锶和钙的摩尔比为0.2∶0.8～0.8∶0.2的范围的比例分散有碳酸锶粒子和碳酸钙粒子、并在将锶和钙的总摩尔量设为100摩尔时以0.0005～20摩尔的范围的量含有选自由硅、铝、钛、锆和稀土类元素构成的组中的一种以上的金属元素的化合物的、平均粒径在0.05～2.0μm的范围的水性分散液进行喷雾干燥而得到干燥粒状物的工序；将该干燥粒状物成型为圆片状的工序；以及对所得圆片状成型物进行烧成的工序。
6.权利要求1所述的金属氧化物多晶体的制造方法，包括：将分散有以摩尔比为0.2∶0.8～0.8∶0.2的范围含有锶和钙的碳酸盐的粒子、并在将锶和钙的总摩尔量设为100摩尔时以0.0005～20摩尔的范围的量含有选自由硅、铝、钛、锆和稀土类元素构成的组中的一种以上的金属元素的化合物的、平均粒径在0.05～2.0μm的范围的水性分散液进行喷雾干燥而得到干燥粒状物的工序；将该干燥粒状物成型为圆片状的工序；以及对所得圆片状成型物进行烧成的工序。
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