[发明专利]一种铜锌合金金属纳滤膜及其制备方法

权利要求书

1.一种铜锌合金金属纳滤膜，其特征在于其组分及其按质量百分比的含量为：

铜40％～50％、锌50％～60％；或

铜80％～90％、锌20％～10％。

2.如权利要求1所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1)将基材放入物理气相沉积真空设备中，抽真空，对基材清洗与活化；

2)对基材进行物理气相沉积，在基材上镀铜锌合金纳滤膜。

3.如权利要求2所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述基材选自活性炭或陶瓷材料。

4.如权利要求3所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于所述活性炭选自颗粒活性炭、片状活性炭、碳棒活性炭或碳纤维活性炭。

5.如权利要求3所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于所述陶瓷材料选自陶瓷球、陶瓷片、陶瓷膜或陶瓷管。

6.如权利要求2所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述对基材清洗与活化，是抽真空至真空度达到10^-2Pa时，对基材清洗与活化。

7.如权利要求6所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于所述活化采用等离子辉光进行活化，活化的工艺条件为离子源电流0.3～0.5A，偏压80～150V，占空比50％～80％，氩气流速10～100SCCM，氧气流速10～150SCCM，炉内真空压力0.1～0.3Pa，活化时间5～10min。

8.如权利要求2所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于在步骤2)中，所述进行物理气相沉积的方法采用电弧法或中频溅法。

9.如权利要求8所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于所述电弧法的工艺条件为：靶电源电流60～100A，偏压80～150V，氩气流速20～100SCCM，炉内真空压力0.1～0.3Pa，镀膜时间10～20min。

10.如权利要求8所述的一种铜锌合金金属纳滤膜的制备方法，其特征在于所述中频溅射法的工艺条件为：中频电源功率6～9kW，偏压80～150V，氩气流速20～100SCCM，炉内真空压力0.1～0.3Pa，镀膜时间10～20min；所获得的铜锌合金纳滤膜的厚度为0.1～0.5μm，孔径为10～20nm。