[发明专利]沉积结构及配合其使用的聚对二甲基苯沉积系统

权利要求书

1.一种沉积结构，包括：

一腔体，包括一内容室、一入口及一出口，且该入口与该出口分别连通该内容室与该腔体外部；

一基材置放座，容置于该内容室；以及

一辅助件，置放于该内容室并邻近于该内容室的壁面，且该辅助件选自下列组件之至少其中之一：一防着板及一导流板。

2.如权利要求1所述的沉积结构，其特征在于，该辅助件对应于所述入口与出口之至少其中之一。

3.如权利要求1所述的沉积结构，其特征在于，该辅助件的横截面呈弧状。

4.如权利要求1所述的沉积结构，其特征在于，还包括一冷凝器，该冷凝器附接于所述腔体，且该冷凝器包括一冷凝导板，该冷凝导板连结于该基材置放座。

5.一种配合如权利要求1至4项中任一项所述的沉积结构使用的聚对二甲基苯沉积系统，包括：

一蒸发管；

一裂解管，连结于该蒸发管与腔体的入口；

一冷凝机，连结于腔体的出口；以及

一真空泵浦，连结于该冷凝机。

6.如权利要求5所述的沉积结构，其特征在于，该蒸发管包括彼此连结的一前部分及一后部分，该前部分具有一前圆形横截面，该后部分具有一后圆形横截面，且该前圆形横截面与该后圆形横截面彼此不同心。

7.如权利要求5所述的沉积结构，其特征在于，冷凝机与腔体的出口之间更连结有一腔体压力感知器、一大气压力感知器、一第一阀门及一第二阀门，且所述真空泵浦还连结有一真空泵浦压力感知器。

8.如权利要求5所述的沉积结构，其特征在于，所述真空泵浦与冷凝机以并联的一第一管路与一第二管路彼此连结，且该第一管路的管径不等于第二管路的管径。