[发明专利]无极准分子灯无效

专利信息
申请号: 201110028099.2 申请日: 2011-01-26
公开(公告)号: CN102157338A 公开(公告)日: 2011-08-17
发明(设计)人: 王颂 申请(专利权)人: 王颂
主分类号: H01J65/00 分类号: H01J65/00;H01J65/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 无极 分子
【权利要求书】:

1.一种无极准分子灯,其包括有微波发生源,波导系统,谐振腔系统,无极灯管等,通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光,其特征在于:在谐振腔系统的外面有一个空气隔绝系统。

2.根据权利要求1所述的空气隔绝系统,其特征在于:有一套石英玻璃套管,采用脱羟透明石英玻璃制造,二氧化硅纯度大于99.9%。

3.根据权利要求1所述的空气隔绝系统,其特征在于:石英玻璃套管是密封的,内部充填有氮气或其它惰性气体,并通过风扇循环流动。

4.根据权利要求1所述的空气隔绝系统,其特征在于:有一个氮气或其它惰性气体输入孔,有一个抽气孔,有一个在线含氧量监测装置,有一个压力监测装置。

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