[发明专利]无极准分子灯

说明书

技术领域

本发明属电光学领域，涉及一种通过微波激励放电发光的准分子灯，具体涉及准分子灯的谐振腔的空气隔绝系统。

背景技术

受激准分子灯目前广泛应用于半导体集成电路、液晶显示面板和印刷线路板等电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等中，但是现在进入实用状态的大都是高压电场激发光的准分子灯，例如专利公开号CN1494105A的(受激准分子灯)，专利公开号CN101164136A的(准分子灯)等。

由于受激准分子灯的成本过高，限制了它的大规模使用，因此现在国内外也有不少院校及科研机构、企业在开发新型准分子发光系统，如复旦大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)，以及本人的专利号为ZL 200810216783.1的(无极准分子灯)等。

在本人的专利产品实际使用过程中，发现了一些新的问题，如当采用能产生波长低于200nm的真空紫外光的灯管时，没办法让真空紫外光照射到物体上或水体里，因为真空紫外光发出后在很短的距离上就和氧气发生反应，就把能量消耗了。

发明内容

因此，本发明是为了解决实际使用中的问题，本发明的目的在于提供一种当无极准分子灯在采用可产生波长低于200nm的真空紫外光的灯管时，可有效的把光照射到被照射物上的系统。

本发明的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：在谐振腔系统的外面有一个空气隔绝系统。

本发明的无极准分子灯的空气隔绝系统，其特征在于：有一套石英玻璃套管，采用脱羟透明石英玻璃制造，二氧化硅纯度大于99.9％。

本发明的无极准分子灯的空气隔绝系统，其特征在于：石英玻璃套管是密封的，内部充填有氮气或其它惰性气体，并通过风扇循环流动。

本发明的无极准分子灯的空气隔绝系统，其特征在于：有一个氮气或其它惰性气体输入孔，有一个抽气孔，有一个在线含氧量监测装置，有一个压力监测装置。

附图说明

图1为本发明的无极准分子灯的结构图。

图2为本发明的A向视图

符号说明

11：压力表；12：氮气或惰性气体输入孔；13：风扇；14：抽气孔；15：含氧量监测系统；16：波导腔；17：耦合口闭封板；18：圆筒形网孔板；19：固定杆；20：准分子灯管；21：盖板；22：石英玻璃套管。

具体实施案例

参照附图，图1为本发明的结构图，本发明是通过如下方式进行实施的，微波源产生微波后，微波通过波导16的耦合口进入谐振腔，激励准分子灯管20内的放电用气体受激发生准分子紫外光，准分子紫外光通过圆筒形网孔板18照射到谐振腔外面，再通过石英玻璃套管22照射到石英玻璃套管22外的气体或液体等物质上。

波导16的耦合口有不吸收微波的材料制作的耦合口闭封板17密封，防止氮气或惰性气体由此泄漏。

谐振腔系统是由盖板21、圆筒形网孔板18、波导腔16的底板共同构成，由固定杆19固定。

空气隔绝系统由石英玻璃套管22、波导腔16的底板、耦合口闭封板17、压力表11、氮气或惰性气体输入孔12、风扇13、抽气孔14、含氧量监测系统15构成，初次使用时，通过抽气孔14抽真空，再由氮气或惰性气体输入孔12输入氮气或惰性气体，反复操作，使石英玻璃套管22里的含氧量低于要求的数值，然后使石英玻璃套管22里输入氮气或惰性气体的气压保持正压状态，石英玻璃套管22里的气体压力由压力表11来观察，石英玻璃套管22里的气体含氧量由含氧量监测系统15确认。

因为石英玻璃套管22内是通过反复抽真空再充入了氮气或惰性气体的方法降低氧的含量，含氧量很低，所以准分子紫外线的能量不会被氧消耗多少。

当本发明的无极准分子灯采用可产生波长低于200nm的真空紫外光的灯管，用来打断分子键，分解水中的有机物时，把石英玻璃套管安装在水中，让薄层水从套管周边流过，使紫外光可以照射透整个水层，从而达到分解有机物的目的。

当本发明的无极准分子灯采用可产生波长低于200nm的真空紫外光的灯管，用来打断分子键，分解液晶面板上的有机物时，采用矩形截面的石英玻璃套管，贴近液晶面板，并且在两者间隙吹入氮气或其它惰性气体，使紫外光可以照射在液晶面板上，达到分解有机物的目的，完成光清洗。

虽然仅对本发明的两个实施例作了说明，但是，在不背离本发明的精神和范围的前提下，本发明显然还具有许多变化和改变的形式，例如谐振腔可以是箱型或球型，灯管也可以是任意长度和直径的灯管甚至灯泡，石英玻璃套管可以是箱型等等。