[发明专利]电子显微镜的小聚光镜

权利要求书

1.一种电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，包括：

上、下极靴、磁路线圈组件、隔圈、线圈垫板；

下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外边沿设有连接用的法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；

上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设置在下极靴内；

磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；

磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；

下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，所述上极靴底部设有锥形底，锥形底的尖端部位设有电子束通孔，所述通孔在上极靴装入到下极靴后与下极靴底部的电子束通孔同轴。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，所述隔圈与下极靴上端开口处的法兰之间设有O型密封圈，O型密封圈嵌入到法兰上设置的密封圈环槽内。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，所述隔圈上的通孔周围设有螺钉孔；

所述上极靴上端的圆筒体的筒壁上设有螺钉孔，螺钉孔内设有螺钉；

所述上极靴上的螺钉孔与所述隔圈上的螺钉孔一一对应，所述隔圈盖装在下极靴上后，通过上极靴上的螺钉孔内的螺钉，使上极靴与隔圈固定连接。

5.根据权利要求1所述的电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，所述小聚光镜还包括：

水套组件，设置在所述隔圈上，可冷却所述磁路线圈组件在工作时产生的热量。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜的小聚光镜，其特征在于，所述磁路线圈组件中的环形线圈呈宝塔形。