[发明专利]电子显微镜的小聚光镜

说明书

技术领域

本发明涉及电子显微镜的小聚光镜部件，特别是指涉及一种适用于电子显微镜的将第二聚光镜的成像按某一方向会聚在样品平面上的小聚光镜。

背景技术

电子显微镜是一种可以观察微小物质的重要仪器，人们利用它可以观察0.25nm以下的物质。电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。

电子显微镜通过电子束照射在样品上，实现对样品的观察。电子枪和聚光镜是电子显微镜的照明系统。电镜要求聚光镜能提供最大亮度的电子束，照射在样品上的电子束孔径角必须能在一定范围内调节，照明斑点的大小可按需要选择。聚光镜是以电子枪的交叉点作为成像的物体而成像到样品上，一般认为电子枪交叉点的尺寸为几十微米。为了保持一定高度并把电子束斑对样品加热的影响限制在最低，要求样品处的束斑为几个微米，对此，聚光镜必须把电子束斑缩小。小聚光镜与第一聚光镜、第二聚光镜一起组成电子显微镜的聚光镜结构，将电子枪射出的电子束按某一方向会聚在样品平面上。

发明内容

本发明实施方式提供一种电子显微镜的小聚光镜，通过改变小聚光镜线圈的电流，来改变透镜所形成的磁场强度，从而保证第二聚光镜的像按某一方向会聚在样品平面上。

本发明的目的是通过下述技术方案实现的：

本发明实施方式提供一种电子显微镜的小聚光镜，包括：

上、下极靴、磁路线圈组件、隔圈、线圈垫板；

下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外边沿设有连接用的法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；

上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设置在下极靴内；

磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；

磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；

下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。

所述上极靴底部设有锥形底，锥形底的尖端部位设有电子束通孔，所述通孔在上极靴装入到下极靴后与下极靴底部的电子束通孔同轴。

所述隔圈与下极靴上端开口处的法兰之间设有O型密封圈，O型密封圈嵌入到法兰上设置的密封圈环槽内。

所述隔圈上的通孔周围设有螺钉孔；

所述上极靴上端的圆筒体的筒壁上设有螺钉孔，螺钉孔内设有螺钉；

所述上极靴上的螺钉孔与所述隔圈上的螺钉孔一一对应，所述隔圈盖装在下极靴上后，通过上极靴上的螺钉孔内的螺钉，使上极靴与隔圈固定连接。

所述小聚光镜还包括：水套组件，设置在所述隔圈上，可冷却所述磁路线圈组件在工作时产生的热量。

所述磁路线圈组件中的环形线圈呈宝塔形。

通过本发明实施方式提供的技术方案可以看出，本发明实施方式中通过在上、下极靴之间设置线圈组件，从而可通过改变线圈组件中环形线圈的电流，来改变透镜所形成的磁场强度，从而保证应用在电子显微镜中时，使第二聚光镜的像在经过该小聚光镜时按某一方向会聚在样品平面上。该小聚光镜具有结构简单、使用方便，可方便的通过调节环形线圈的电流控制第二聚光镜的像在样品平面上的会聚。

附图说明

图1为本发明实施例提供的小聚光镜的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的小聚光镜的主视结构示意图；

图3为本发明实施例提供的小聚光镜的另一角度立体结构示意图；

图4为本发明实施例提供的小聚光镜的爆炸分解结构示意图；

图5为本发明实施例提供的小聚光镜的剖面示意图；

图6为本发明实施例提供的小聚光镜的下极靴的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的小聚光镜的上极靴的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的小聚光镜的上极靴的剖面结构示意图；

图9为本发明实施例提供的小聚光镜的磁路线圈组件的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的小聚光镜的隔圈的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的小聚光镜的线圈垫板的结构示意图；

图12为本发明实施例提供的小聚光镜的水套组件的结构示意图；