[发明专利]三维形状检查方法

权利要求书

1.一种三维形状检查方法，将从照明装置产生的光照射到测量对象物来拍摄图像，利用所拍摄的所述图像获得基于所述测量对象物的高度信息的三维形状，从而检查所述测量对象物是否合格，包括：

选定形成于基板的预定的检查对象部件作为所述测量对象物的步骤；

获得所述检查对象部件的形状的步骤；

检测所述检查对象部件的基准点的步骤；

确认形成于所述检查对象部件的极性标记对所述基准点的相对位置信息的步骤；

利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤。

2.如权利要求1所述的三维形状检查方法，其特征在于，从所述照明装置产生的光是光栅图案光，所述拍摄的图像是图案图像。

3.如权利要求1所述的三维形状检查方法，其特征在于，在获得所述检查对象部件的形状的步骤之前，还包括设定对于所述检查对象部件的检查区域的步骤。

4.如权利要求1所述的三维形状检查方法，其特征在于，以基于高度信息的三维形状获得所述检查对象部件的形状；

利用所述检查对象部件的高度信息来确认所述极性标记是否存在。

5.如权利要求4所述的三维形状检查方法，其特征在于，在利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤中，

利用所述测量的检查对象部件的高度信息，确认在利用对所述基准点的相对位置信息所预期的所述极性标记应存在的位置是否存在所述极性标记，当所述极性标记存在时判断为合格，当所述极性标记不存在时判断为不合格。

6.如权利要求4所述的三维形状检查方法，其特征在于，在利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤包括：

利用所述检查对象部件的高度信息来检测所述极性标记的位置的步骤；

将对所述基准点的相对位置信息与所述检测的极性标记的位置相比较来判断所述检查对象部件是否合格。

7.如权利要求6所述的三维形状检查方法，其特征在于，利用所述检查对象部件的高度信息来检测所述极性标记的位置的步骤包括：

利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认在利用对所述基准点的相对位置信息所预期的所述极性标记应存在的第一位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤；

当在所述第一位置不存在所述极性标记时，利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认所述检查对象部件偏转预定角度的第二位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤。

8.如权利要求6所述的三维形状检查方法，其特征在于，利用所述检查对象部件的高度信息来检测所述极性标记的位置的步骤包括：

利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认在利用对所述基准点的相对位置信息所预期的所述极性标记应存在的第一位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤；

当在所述第一位置不存在所述极性标记时，利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认所述检查对象部件偏转预定角度的第二位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤；

当在所述第二位置不存在所述极性标记时，利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认所述检查对象部件旋转预定角度的第三位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤。

9.如权利要求1所述的三维形状检查方法，其特征在于，

形成于所述检查对象部件的极性标记具有与所述检查对象部件之上的所述极性标记的相邻区域不同的高度。

10.如权利要求9所述的三维形状检查方法，其特征在于，所述检查对象部件将形成于上面的凹坑和形成于角上的斜面中的一个用作所述极性标记。

11.如权利要求1所述的三维形状检查方法，其特征在于，根据记录了所述检查对象部件的形状的计算机辅助设计信息确认形成于所述检查对象部件的极性标记对所述基准点的相对位置信息，或者，

根据从学习模式获得的学习信息确认形成于所述检查对象部件的极性标记对所述基准点的相对位置信息。