[发明专利]三维形状检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种三维形状检查方法，更详细地讲，涉及一种用于检查对象部件的极性检查的三维形状检查方法。

背景技术

一般来讲，电子装置内部具有至少一个印刷电路板(PCB，printed circuit board)，在这些印刷电路板上安装有各种形状的元件。为了检查这些元件的不合格等问题，一般使用三维形状测量装置。

所述各种形状的元件大体形成有各种形状的极性标记。只有当所述元件的各个极性标记的位置如设计所述印刷电路板时所预定的一样时，所述印刷电路板才能正常工作，因此所述极性标记的位置可成为判断所述元件是否准确地安装到印刷电路板上的尺度。

现有技术中，采用通过获得并观察所述元件的二维图像来确认所述极性标记的位置是否准确的方法。但是，当采用这种极性检查方法时，难以用二维图像来掌握极性标记位置的情况较多。例如，当极性标记是具有相同颜色的存在高度差的台阶部时，难以利用二维图像进行检查。

因此，需要能够准确地掌握如上所述的极性标记的位置的方法。

发明内容

因此，本发明所要解决的课题是提供一种能够通过准确地掌握极性标记的位置来更加容易和准确地执行使性检查的三维形状检查方法。

根据本发明的示例性实施例的一种三维形状检查方法，拍摄将从照明装置产生的光照射到测量对象物而生成的图像，利用拍摄的所述图像获得基于所述测量对象物的高度信息的三维形状，从而检查所述测量对象物是否合格。所述三维形状检查方法包括：选定形成于基板的预定的检查对象部件作为所述测量对象物的步骤；获得所述检查对象部件的形状的步骤；检测所述检查对象部件的基准点的步骤；确认形成于所述检查对象部件的极性标记(polarity mark)对所述基准点的相对位置信息的步骤；利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤。

作为一实施例，从所述照明装置产生的光可以是光栅图案光，所述拍摄的图像可以是图案图像。

作为一实施例，在获得所述检查对象部件的形状的步骤之前，可设定对于所述检查对象部件的检查区域。

作为一实施例，可以以基于高度信息的三维形状获得所述检查对象部件的形状，可利用所述检查对象部件的高度信息来确认所述极性标记是否存在。

此时，在利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤中，利用所述测量的检查对象部件的高度信息，确认在利用对所述基准点的相对位置信息所预期的所述极性标记将存在的位置是否存在所述极性标记，当所述极性标记存在时判断为合格，当所述极性标记不存在时可判断为不合格。

与此不同，在利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤可包括：利用所述检查对象部件的高度信息来检测所述极性标记的位置的步骤；将对所述基准点的相对位置信息与所述检测的极性标记的位置相比较来判断所述检查对象部件是否合格。

此时，利用所述检查对象部件的高度信息来检测所述极性标记的位置的步骤可包括：利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认在利用对所述基准点的相对位置信息所预期的存在所述极性标记的第一位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤；当在所述第一位置不存在所述极性标记时，利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认所述检查对象部件偏转预定角度的第二位置是否存在所述极性标记，从而检测所述极性标记的位置的步骤。

此时，对所述第二位置利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认所述极性标记是否存在而检测所述极性标记的位置之后，可对所述检查对象部件旋转预定角度的第三位置利用所述测量的检查对象部件的高度信息来确认所述极性标记是否存在，从而检测所述极性标记的位置的步骤。

作为一实施例，形成于所述检查对象部件的极性标记可具有与所述检查对象部件之上的所述极性标记的相邻区域不同的高度。所述检查对象部件可将形成于上面的凹坑和形成于角上的斜面中的一个用作所述极性标记。

可根据记录了所述检查对象部件的形状的计算机辅助设计信息确认形成于所述检查对象部件的极性标记对所述基准点的相对位置信息，或者，可根据从学习模式获得的学习信息确认形成于所述检查对象部件的极性标记对所述基准点的相对位置信息。