[发明专利]键合机防沉锁紧装置有效

专利信息
申请号: 201110036956.3 申请日: 2011-02-12
公开(公告)号: CN102136437A 公开(公告)日: 2011-07-27
发明(设计)人: 陈永生;徐媛媛 申请(专利权)人: 南通富士通微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/603
代理公司: 北京市惠诚律师事务所 11353 代理人: 雷志刚;潘士霖
地址: 226006 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 键合机防沉锁紧 装置
【权利要求书】:

1.键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述防沉锁紧装置包括压具系统和压块系统,所述压具系统为对称结构且位于所述压块系统的两侧;

所述压具系统包括压具底座、压具气缸、压板安装平台和压具弹簧,所述压具气缸固定于所述压具底座上,所述压板安装平台固定于压具气缸上,所述压具弹簧位于压具气缸的两侧,压具弹簧的两端分别固定于压具气缸和压具底座上;

所述压块系统包括压块底座、压块气缸、压缩空气装置、锁紧结构、砧块安装平台和压块弹簧,所述压块气缸固定于所述压块底座上,所述压缩空气装置固定于压块气缸上,所述锁紧结构固定于压块气缸上,所述砧块安装平台固定于压块气缸上并位于锁紧结构的上方,所述压块弹簧位于压块气缸的两侧,压块弹簧的两端分别固定于砧块安装平台和压块底座上。

2.如权利要求1所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压具系统的压板安装平台上设有压板结构。

3.如权利要求2所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压板结构包括压板和压爪。

4.如权利要求3所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压板上设有调节孔槽。

5.如权利要求3所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压爪固定于所述压板的下方。

6.如权利要求3所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压爪由多根手指状金属条构成。

7.如权利要求1所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述锁紧结构由斜契块、滚轮和滚轮固定块构成,所述斜契块固定于所述压块气缸的滑块上,所述滚轮固定块位于斜契块上方,滚轮固定块的一端固定于所述压块系统上。

8.如权利要求1所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压具气缸沿垂直方向运动。

9.如权利要求1所述的键合机防沉锁紧装置,其特征在于:所述压块气缸沿水平方向运动。

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