[发明专利]压电振动器及使用该压电振动器的振荡器

权利要求书

1.一种压电振动器，其中包括：

基底基板；

形成在所述基底基板的表面的在安装部中以悬臂状态被保持的压电振动片；以及

接合至所述基底基板并且以覆盖地收纳所述压电振动片的盖基板，其中，

所述压电振动片在其外表面具有驱动用的第一及第二激振电极，

所述基底基板包括从其表面贯通到相反侧的背面的第一及第二贯通电极、形成在所述表面并且一端与所述第一贯通电极连接而另一端与所述安装部连接的第一迂回电极、以及与所述第一迂回电极电连接并且位于所述安装部附近的第一连接部和位于所述第一贯通电极附近的第二连接部，

在所述基底基板和所述盖基板接合的接合面形成有导体膜，所述第一迂回电极和所述导体膜在所述第一及第二连接部中电连接，

所述第一激振电极经由所述安装部和所述第一迂回电极及所述导体膜而与所述第一贯通电极电连接，所述第二激振电极经由所述安装部而与所述第二贯通电极电连接。

2.根据权利要求1所述的压电振动器，其中，

所述压电振动片具有平板形状，所述第一激振电极和所述第二激振电极分别与所述平板形状的表面及背面面对地形成，

在将所述基底基板从其表面的法线方向观看时，所述第一迂回电极设置在不与所述第一及第二激振电极重叠的位置。

3.根据权利要求1或2所述的压电振动器，其中，

所述盖基板具有用于收纳所述压电振动片的凹部，

构成所述凹部的侧壁的上表面接合至所述基底基板，

在所述侧壁的上表面和所述凹部的底面之间形成有第一及第二台阶差部，

从所述侧壁的内侧面直到所述第一及第二台阶差部的上表面而分别形成第一及第二台阶差电极，

所述第一台阶差电极电连接所述导体膜与所述第一连接部，所述第二台阶差电极电连接所述导体膜和所述第二连接部。

4.一种振荡器，其中包括：

根据权利要求1至3中任一项所述的压电振动器，以及

向所述压电振动器提供驱动信号的驱动电路。