[发明专利]压电振动器及使用该压电振动器的振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及在基板间形成的空腔密封了压电振动片的压电振动器及使用该压电振动器的振荡器，特别涉及小型的压电振动器。

背景技术

近年来，在便携电话或便携信息终端的时刻源或定时源上使用利用了水晶等的压电振动器。已知各种各样的压电振动器，但作为其中之一，众所周知表面安装型的压电振动器。作为表面安装型的压电振动器，已知由基底基板和盖基板上下夹持形成有压电振动片的压电基板的3层构造型的压电振动器。压电振动片被收纳于在基底基板与盖基板之间形成的空腔内。最近，开发着2层构造型的压电振动器。这种类型的压电振动器，在基底基板或盖基板的内表面形成由凹部构成的空腔，并且在基底基板的表面安装压电振动片，在基底基板的周围直接接合盖基板而在该空腔中收纳压电振动片。该2层构造型的压电振动器与3层构造型相比，在能实现薄型化等方面优越(例如，参照专利文献1)。

图5是2层构造型的压电振动器100的说明图。图5(a)是压电振动器100的剖面示意图；(b)是下侧基板即基底基板101的俯视示意图；(c)是上侧基板即盖基板102的俯视示意图。此外，图5(a)表示图5(b)、(c)的俯视图所示的部分CC的剖面。

如图5(a)所示，压电振动器100包括：基底基板101；通过接合材料106接合在基底基板101的外周上表面的盖基板102；以及在基底基板101的上表面以悬臂状态安装的压电振动片103。在盖基板102的基底基板101一侧的表面，形成由凹部构成的空腔110，收纳压电振动片103。

作为压电振动片103使用水晶板。贯通电极104a、104b被埋入基底基板101，并且在外表面与外部电极105a、105b分别连接，而在内表面与迂回电极107a、107b分别连接。在迂回电极107a、107b之上安装有压电振动片103。

如图5(b)所示，2个贯通电极104a、104b形成在大致对角部，迂回电极107b从上边的角部形成到下边角部，迂回电极107a形成在贯通电极104a的上表面和其附近的基底基板101上。然后，在迂回电极107a、107b的各自的上表面上形成有安装部件108，其上以悬臂状保持有压电振动片103。

在压电振动片103的两面对置地形成激振电极109a、109b，与形成在压电振动片103的下边端部的端子电极111a、111b电连接，并且经由安装部件108而与各迂回电极107a、107b连接。因而，外部电极105a经由贯通电极104a、迂回电极107a、安装部件108、端子电极111a而与激振电极109a电连接。此外，外部电极105b经由贯通电极104b、迂回电极107b、安装部件108、端子电极111b而与激振电极109b电连接。即，从外部电极105a、105b向激振电极109a、109b提供驱动电力，使压电振动片103激振，能抽取一定周期的信号。

专利文献1：日本特开2009-232449号公报

近年来，便携设备或便携终端越来越向小型化发展。与之相伴地，压电振动器100也被要求小型化。若将压电振动器100小型化，则也需要减小压电振动片103或迂回电极107的尺寸或接合材料106的面积。但是，例如作为压电振动片103使用了水晶板时，如果减小压电振动片103，CI值(晶体阻抗(Crystal Impedance)值)就会变大而使振动特性劣化。此外，为使压电振动片103稳定振动，需要使空腔110内与大气隔断。例如，将空腔110内维持真空。为此，接合材料106需要有一定程度的宽度。

此外，如果在迂回电极107b与激振电极109之间形成寄生电容，就会劣化振动特性。为此，迂回电极107b和激振电极109需要形成为从平面上看不会重叠。此外，在通过接合材料106接合基底基板101与盖基板102之际进行加热。这样会有增加迂回电极107a、107b的布线电阻的情况。由于这些现状，在将压电振动器100小型化时，无法将压电振动片103的尺寸或接合材料106的宽度减小到必要值以上，其结果，存在迂回电极107b的电极宽度变窄、其电阻增加、振动特性依然劣化的问题。

发明内容

本发明鉴于上述问题构思而成，其目的在于提供不劣化振动特性而能小型化的压电振动器。