[发明专利]触摸屏面板的制造方法

说明书

本申请要求于2010年2月22日向韩国知识产权局提交的第10-2010-0015703号韩国专利的权益，该申请的公开通过引用包含于此。

技术领域

本发明的各方面涉及一种触摸屏面板的制造方法，在该方法中掩模工艺的数量减少。

背景技术

触摸屏面板是允许通过用户的手或物体选择显示在屏幕(例如，图像显示装置)上的指令内容来输入用户指令的输入装置。为此，触摸屏面板被设置在图像显示装置的前表面上以将接触位置转换成电信号。用户的手或者物体在接触位置与触摸屏面板直接接触。因此，通过与接触位置接触而选择的指令内容作为输入信号被输入到图像显示装置。

由于可以使用这样的触摸屏面板来替代连接到图像显示装置的单独的输入装置(例如，键盘或鼠标)，所以增加了触摸屏面板的使用。触摸屏面板分为电阻覆盖触摸屏面板(resistive overlay touch screen panel)、光敏触摸屏面板、电容触摸屏面板或其他类似的触摸屏面板。在这些触摸屏面板中，当用户的手或物体接触触摸屏面板时，电容触摸屏面板通过感测导电感测图案与相邻的感测图案之间、与地电极等之间的电容变化将接触位置转换成电信号。

电容触摸屏面板包括多个沿第一方向连接的第一感测图案和多个沿第二方向连接的第二感测图案，从而可以检测到接触位置的坐标。第一感测图案和第二感测图案由相同的材料形成并形成在相同的层中，使得整个触摸屏面板可以对触摸具有一致的敏感度。

然而，沿第一方向连接第一感测图案的第一连接图案和沿第二方向连接第二感测图案的第二连接图案形成在不同的层中。第一感测图案和第二连接图案通过不同的工艺形成，以防止第一连接图案和第二连接图案发生短路。此外，在第一连接图案和第二连接图案之间形成使它们彼此绝缘的绝缘层。

在形成第一连接图案的工艺、形成第二连接图案的工艺和形成绝缘层的工艺中，单独地执行图案化工艺。因此，所有这些工艺都需要掩模工艺。因此，触摸屏面板的制造工艺复杂，并且降低了触摸屏面板的制造效率。

发明内容

本发明的各方面提供了一种触摸屏面板的制造方法，在该方法中掩模工艺的数量减少。

根据本发明的各方面，提供了一种触摸屏面板的制造方法，该方法包括以下步骤：在透明基板的同一表面上顺序地形成导电层和绝缘层；使用半色调掩模将导电层和绝缘层共图案化以形成具有分开的图案的第一连接图案，绝缘层在第一连接图案上被图案化以暴露第一连接图案的区域；在具有第一连接图案和绝缘层的透明基板上形成透明电极层；将透明电极层图案化以形成第一感测图案和第二感测图案，第一感测图案通过沿第一方向连接的第一连接图案的暴露的区域连接到第一连接图案，第二感测图案设置在第一感测图案之间，其中，第二感测图案与第一感测图案绝缘并沿第二方向连接。

根据本发明的另一方面，使用半色调掩模将导电层和绝缘层共图案化的步骤可包括使用半色调掩模在绝缘层上形成具有第一高度和低于第一高度的第二高度的光致抗蚀剂；通过蚀刻工艺将光致抗蚀剂下面的区域以外的区域处的导电层和绝缘层去除；通过灰化工艺将具有第二高度的光致抗蚀剂去除并通过蚀刻工艺将具有第二高度的光致抗蚀剂下方的绝缘层去除，以暴露第一连接图案的暴露的区域；通过灰化工艺将绝缘层上剩余的光致抗蚀剂去除。

根据本发明的另一方面，通过蚀刻工艺将光致抗蚀剂下面的区域以外的区域处形成的导电层和绝缘层去除的步骤可包括通过干蚀刻工艺将绝缘层去除，然后通过湿蚀刻工艺将导电层去除，其中，导电层被过蚀刻以使导电层的边定位为比绝缘层的边更向内。

根据本发明的另一方面，在使用半色调掩模将导电层和绝缘层共图案化的步骤中，可在互连区域上形成具有第二高度的光致抗蚀剂，以在将第一连接图案图案化的同时在互连区域上将位置检测线图案化。

根据本发明的另一方面，在将透明电极层图案化的步骤中，沿第二方向连接第二感测图案的第二连接图案可以与第二感测图案一体地形成。

根据本发明的各方面，使用半色调掩模将导电层和绝缘层共图案化，使得可在一个掩模工艺中形成第一连接图案和绝缘层。因此，减少了掩模工艺的数量，因此简化了制造工艺。

本发明的其他方面和/或优点将部分地在后面的描述中提出，部分地通过描述而显而易见，或者可通过本发明的实践而被知晓。

附图说明

通过下面结合附图进行的实施例的描述，本发明的这些和/或其他方面和优点将会变得清楚且更易于理解，附图中：

图1是示意性地示出根据本发明实施例的触摸屏面板的平面图；