[发明专利]狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置

权利要求书

1.一种狭缝喷嘴清扫装置，其用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫，其中，

包括：薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或从上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；

清扫机构，其用于保持上述刮出构件，将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内，使上述刮出构件沿规定的方向移动，以便在上述狭缝内刮出固化物，然后自上述狭缝将上述刮出构件拔出。

2.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构包括：

用于保持上述刮出构件的基端部的保持部；

用于使上述刮出构件与上述保持部一体地在上述狭缝喷嘴的喷出方向上移动的第1移动机构；

用于使上述刮出构件与上述保持部一体地在上述狭缝喷嘴的长度方向上移动的第2移动机构，

采用上述第1移动机构来进行将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内的动作，

采用上述第2移动机构来进行在上述狭缝喷嘴的狭缝内的刮出动作，

采用上述第1移动机构来进行自上述狭缝喷嘴的狭缝将上述刮出构件拔出的动作。

3.根据权利要求2所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构也在将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内的动作中采用上述第2移动机构。

4.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构也在上述狭缝喷嘴的狭缝内的刮出动作中采用上述第1移动机构。

5.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构还具有用于使上述刮出构件绕设于上述保持部上的枢轴转动的第3移动机构，

上述清扫机构也在将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内的动作中采用上述第3移动机构。

6.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构还具有用于使上述刮出构件绕设于上述保持部上的枢轴转动的第3移动机构，

上述清扫机构也在上述狭缝喷嘴的狭缝内的刮出动作中采用上述第3移动机构。

7.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构还具有用于使上述刮出构件与上述保持部一体地在与上述狭缝喷嘴的长度方向正交的水平的一方向上移动的第4移动机构，

上述清扫机构也在将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内的动作中采用上述第4移动机构。

8.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构具有用于在将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内时向上述狭缝内引导上述刮出构件的顶端部的引导部。

9.根据权利要求8所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述引导部为了一边引导上述刮出构件的顶端部一边使上述刮出构件的顶端部通过而具有宽度朝着狭缝喷嘴的喷出口而变窄的狭缝状的空洞部，

上述引导部与上述狭缝喷嘴抵接而被定位。

10.根据权利要求8所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述引导部为了一边引导上述刮出构件的顶端部一边使上述刮出构件的顶端部通过而具有宽度朝着狭缝喷嘴的喷出口而变窄的狭缝状的空洞部，

上述引导部相对于上述狭缝喷嘴以非接触的方式被定位。

11.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述保持部具有能够使上述刮出构件弹性位移的弹性构件。

12.根据权利要求11所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构具有用于检测上述刮出构件相对于上述保持部的相对位移且判断该位移量是否超过了基准值的位移判断部。

13.根据权利要求12所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构在将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内时，根据由上述位移判断部所得出的判断结果来确认上述刮出构件的插入情况，或者再次尝试上述刮出构件的插入。

14.根据权利要求12所述的狭缝喷嘴清扫装置，其中，

上述清扫机构在进行上述狭缝喷嘴的狭缝内的刮出动作时，根据由上述位移判断部所得出的判断结果来监视上述刮出动作是否正常地进行。