[发明专利]狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置

说明书

技术领域

本发明涉及非旋涂方式的涂覆装置，尤其是涉及在非旋涂法的涂覆处理中所采用的、用于对狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置。

背景技术

在LCD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光刻工序中，如下的一种非旋涂涂覆法被广泛采用：使具有狭缝形状的喷出口的长条形的狭缝喷嘴相对于玻璃基板等被处理基板相对移动，并在基板上涂覆处理液或者药液等涂覆液、例如抗蚀液。

在典型的非旋涂涂覆法中，一边自狭缝喷嘴相对于固定并载置在工作台上的基板呈带状喷出抗蚀液，一边使狭缝喷嘴沿与喷嘴长度方向正交的水平一方向移动。这样，使自狭缝喷嘴的喷出口溢出到基板上的抗蚀液向喷嘴后方平坦地延伸，从而在基板的一表面上形成抗蚀液涂覆膜(例如专利文献1)。

作为另一代表性的非旋涂涂覆法，多采用在工作台上以保持使基板飘浮于空中的状态而沿水平一方向(工作台长度方向)输送基板的上浮输送方式。在该方式中，通过使设置在上浮工作台的上方的长条型的狭缝喷嘴朝向通过其正下方的基板呈带状喷出抗蚀液，而在基板输送方向上自基板的前端部朝基板的后端部，在基板的一表面上形成抗蚀液涂覆膜(例如专利文献2)。

专利文献1：日本特开平10-156255号公报

专利文献2：日本特开2005-236092号公报

在上述那样的、在非旋涂涂覆法的涂覆处理中所采用的狭缝喷嘴中，由于供抗蚀液喷出的狭缝的间隙非常窄(通常为100μm以下)，因此，在狭缝内容易堆积由抗蚀液于抗蚀液供给管或者狭缝喷嘴内凝胶化而形成的固化物，若在狭缝内的某处堆积有抗蚀液固化物，则在该处，抗蚀液的流出(即向基板的供给)会存在欠缺，导致在抗蚀液涂覆膜上产生沿涂覆扫描方向笔直延伸的条状的涂覆不均。

以往，为了防止抗蚀液固化物堆积在狭缝喷嘴的狭缝内，而人工进行将附着在狭缝喷嘴的狭缝内壁上的抗蚀液固化物去除的清扫作业。更加详细而言，将由金属或者树脂构成的薄板材自外部(喷嘴喷出口侧)插入狭缝喷嘴的狭缝内，且在狭缝内使薄板材沿喷嘴长度方向滑动从而将固化物刮出。但是，该种狭缝喷嘴的狭缝间隙如上述那样，通常为100μm以下的极细的间隙，要将薄板材插入该间隙中进行清扫是非常麻烦且费事的作业，因而成为使抗蚀液涂覆装置的维护性或者运转率下降的主要原因。此外，由于清扫作业效率不高、耗时长，因此还导致在作业中散乱在周围的颗粒较多。

发明内容

本发明是为了解决上述那样的以往技术的问题点而做成的，目的在于提供如下一种狭缝喷嘴清扫装置和非旋涂方式的涂覆装置：在抑制颗粒的产生的同时，自动且有效率地对用于非旋涂涂覆法的涂覆处理中的狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫，且通过改善对狭缝喷嘴的维护功能来力图提高涂覆膜的品质、成品率以及运转率。

为了达成上述目的，本发明的第1技术方案的狭缝喷嘴清扫装置是用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置，其中，包括：薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或自上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构，其用于保持上述刮出构件，以将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内而在上述狭缝内刮出固化物的方式，使上述刮出构件沿规定的方向移动，并自上述狭缝将上述刮出构件拔出

在上述结构的狭缝喷嘴清扫装置中，通过使与狭缝喷嘴的狭缝内清扫或者清洗相关的主要作业、即刮出构件相对于狭缝喷嘴的插拔作业和刮出作业全部自动化、定型化，能够实现提高作业效率、抑制颗粒的产生、大幅度缩短所需时间。

本发明的第2技术方案的狭缝喷嘴清扫装置是用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置，其中，包括：薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或自上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构，其用于保持上述刮出构件，在上述狭缝内使上述刮出构件沿规定的方向移动以便将固化物刮出。

在上述结构的狭缝喷嘴清扫装置中，通过将作为与狭缝喷嘴的狭缝内清扫或清洗相关的主要作业之一的、狭缝喷嘴内的刮出作业自动化、定型化，能够实现提高作业效率、抑制颗粒的产生、缩短所需时间。

本发明的涂覆装置包括：狭缝喷嘴，其用于在涂覆处理中相对于被处理基板呈带状将涂覆液喷出；涂覆液供给部，其用于在涂覆处理中将涂覆液供给到上述狭缝喷嘴；基板支承部，其用于支承上述被处理基板；扫描机构，其在涂覆处理中在上述狭缝喷嘴与上述基板之间沿一水平的方向相对移动，以使上述狭缝喷嘴在上述基板上进行涂覆扫描；狭缝喷嘴清扫装置，其用于在涂覆处理的间隔期间对上述狭缝喷嘴的狭缝内进行清扫。