[发明专利]涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及对有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、PDP(Plasma Display Panel：等离子显示器)用玻璃基板、太阳电池用基板、电子纸用基板或半导体制造装置用掩模基板等基板涂敷涂敷液的涂敷装置。

背景技术

例如，在对液晶显示装置用玻璃基板涂敷涂敷液时，一边向一个方向搬运基板，一边从涂敷喷嘴呈狭缝状地喷出涂敷液，从而在玻璃基板的表面上形成涂敷液的薄膜。在此，在搬运液晶显示装置用玻璃基板等精密电子装置用基板时，要求防止基板被污损的同时高效地进行搬运。

另一方面，近年来，制造液晶显示器的标准玻璃基板的尺寸大型化。在搬运这样的大型玻璃基板时，重要的是高精度地保持基板的平坦度进行搬运，以免因搬运的冲击给玻璃基板造成损伤。

因此，提出了在向基板的下表面供给气体而使基板浮起的状态下使基板向一个方向移动的搬运机构。并且，在专利文献1中提出了如下的基板处理装置，即，将用于将基板浮起进行搬运的工作台分割为多个区域，通过对各个区域改变喷出口和排气口的配置密度，能够顺畅地搬运基板，其中，所述喷出口用于向工作台与基板间的区域喷出气体，所述排气口用于从工作台与基板间的区域排出气体。

在该专利文献1中记载的基板处理装置中采用如下结构，即，将用于将基板浮起进行搬运的工作台分割为基板的搬入区域、基板的搬出区域、液体供给区域、搬入区域与液体供给区域之间的过渡区域、液体供给区域与搬出区域之间的过渡区域，对上述的每个区域改变用于向工作台与基板间的区域喷出气体的喷出口和用于从工作台与基板间的区域排出气体的排气口的配置密度。

专利文献1：JP特开2006-253373号公报。

但是，在这样的涂敷装置中，在基板的表面存在异物的情况下，该异物与涂敷喷嘴相冲突，使涂敷喷嘴损伤，或使涂敷喷嘴的位置产生误差，而不能进行此后的涂敷作业。因此，在这样的涂敷装置中，考虑相对于涂敷喷嘴而在基板的搬运方向上的上游侧设置用于对存在于基板的表面上的异物进行检测的异物检测机构。

另外，在基板上涂敷涂敷液的涂敷区域中，需要防止基板的上下运动，而高精度地维持基板表面的高度位置。另一方面，在上述的基板的搬入区域和搬出区域中，基板与用于将基板浮起进行搬运的工作台的距离不要求像涂敷区域那样的精度。

另外，从还能检测比较小的异物的目的考虑，上述的异物检测机构需要接近基板配置。因此，在利用该异物检测机构检测异物时，若使基板在高度方向上的位置精度形成为与基板在搬入区域和搬出区域中同样的位置精度，则可能使基板与异物检测机构产生冲突。而且，在基板的搬运方向上，涂敷喷嘴与异物检测机构之间需要有一定的距离。

因此，为了通过异物检测机构良好地检测异物，在用于将基板浮起进行搬运的工作台，需要增大具有与基板的涂敷区域同样精度的区域在基板的搬运方向上的尺寸。但是，为了提高基板在高度方向上的位置精度，不仅需要增加向工作台与基板间的区域喷出气体的喷出口和从工作台与基板间的区域排出气体的排气口的数量，而且还需要提高工作台表面的加工精度，因而在增大用于以高精度维持基板在高度方向上的位置精度的区域的情况下，存在装置的制造成本变高的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供能够将装置的制造成本维持得低并且能够正确地涂敷涂敷液和检测异物的涂敷装置。

技术方案1的涂敷装置，在通过向基板的下表面供给气体而使基板浮起的状态下，使基板向一个方向移动，并在基板的表面上涂敷涂敷液，其特征在于，具有：涂敷喷嘴，其在向一个方向移动的基板的表面上涂敷涂敷液，异物检测机构，其相对于所述涂敷喷嘴而配置在基板的搬运方向上的上游侧，来对存在于基板的表面上的异物进行检测，一对浮起工作台，其形成有向所述一对浮起工作台与基板间的区域喷出气体的喷出口，精密浮起工作台，其配置在所述一对浮起工作台之间，并形成有向所述精密浮起工作台与基板间的区域喷出气体的喷出口和从所述精密浮起工作台与基板间的区域排出气体的排气口，第一排气装置，其用于从所述精密浮起工作台中的位于基板的搬运方向上的上游侧的排气口排出气体，第二排气装置，其用于从所述精密浮起工作台中的相对于通过所述第一排气装置进行排气的排气口而位于所述基板的搬运方向上的下游侧的排气口排出气体。