[发明专利]等离子体点火的装置、方法和半导体设备有效
| 申请号： | 201110043757.5 | 申请日： | 2011-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102647845A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 朱桂林 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 点火 装置 方法 半导体设备 | ||
1.一种等离子体点火的装置，其特征在于，包括：频率可调射频电源和与所述频率可调射频电源连接的匹配器；
所述频率可调射频电源，用于在频率为点火频率时通过所述匹配器向反应腔室提供射频功率以实现所述匹配器向所述反应腔室输出点火电压，所述点火电压用于实现对所述反应腔室内的等离子体进行点火，所述点火频率大于所述频率可调射频电源的工艺处理频率。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述频率可调射频电源还用于在频率为点火频率时通过所述匹配器向反应腔室提供射频功率以实现所述匹配器向所述反应腔室输出点火电压之后，在频率为所述工艺处理频率时通过所述匹配器向所述反应腔室提供射频功率以实现所述匹配器向所述反应腔室输出工艺处理电压。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述匹配器包括自耦变压器、可调电感和电容，所述自耦变压器与所述频率可调射频电源连接，所述自耦变压器和所述可调电感并联连接，所述自耦变压器的接地端和所述可调电感的接地端接地，所述自耦变压器的输出端和所述可调电感的输出端与所述电容的输入端连接，所述电容的输出端用于向所述反应腔室输出所述点火电压。
4.根据权利要求1至3任一所述的装置，其特征在于，所述点火电压大于或者等于最低点火电压，所述最低点火电压为能够使等离子体点火成功的最低电压。
5.一种等离子体点火的方法，其特征在于，基于所述等离子体点火的装置，所述等离子体点火的装置包括：频率可调射频电源和与所述频率可调射频电源连接的匹配器；
所述方法包括：
将所述频率可调射频电源的频率调节为点火频率，以使所述频率可调射频电源通过所述匹配器向反应腔室提供射频功率从而实现所述匹配器向所述反应腔室输出点火电压，所述点火频率大于所述频率可调射频电源的工艺处理频率；
通过所述点火电压对所述反应腔室内的等离子体进行点火。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述频率可调射频电源的频率调节为点火频率，以使所述频率可调射频电源通过所述匹配器向反应腔室提供射频功率从而实现所述匹配器向所述反应腔室输出点火电压之后包括：
将所述频率可调射频电源的频率调节为所述工艺处理频率，以使所述射频可调频率电源通过所述匹配器向所述反应腔室提供射频功率以实现所述匹配器向所述反应腔室输出工艺处理电压。
7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述点火电压大于或者等于最低点火电压，所述最低点火电压为能够使等离子体点火成功的最低电压。
8.一种半导体设备，其特征在于，包括：等离子体点火的装置和反应腔室，所述等离子体点火的装置和所述反应腔室连接；
所述等离子体点火的装置采用如权利要求1至4任一所述的等离子体点火的装置。
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