[发明专利]温度控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及对放置被加热物并进行加热处理的加热板配备了以多行/多列通过布线相互连接的多个加热器的温度控制系统，更具体地，涉及在上述温度控制系统中能够抑制以下情况的发明：向成为目标的加热器的驱动电流经由布线作为漏电流流到其他的加热器从而该其他加热器发热，该发热干扰到目标加热器的温度控制。

背景技术

以往，例如，在将被加热物放置到加热板上而进行加热处理那样的温度控制中，通过以下来执行：温度调节器基于来自配设在加热板上的温度传感器的检测温度，对配设在加热板的加热器的通电进行控制，以使加热板的温度成为设定温度(参照专利文献1)。

在这样的温度控制系统中，对加热板区域按多行/多列进行区域划分，并且在这些各区域的每一个配设加热器和温度传感器，在这些区域的每个中对加热板进行温度控制的情况下，各加热器的布线和各温度传感器的信号线的布线数目增大。

因此，本发明人们在(日本)特愿2008-332717(平成20年12月26日申请)中提供了一种在将加热板划分成行/列方向的多个区域，并对这些各区域的每一个配置加热器和温度传感器的情况下，实现了这些布线的简化的温度控制系统。

专利文献

专利文献1：(日本)特开2001-274069号公报

本发明人们所提供的上述温度控制系统设为以下的结构而能够简化在使用多个加热器时的布线：对以多行/多列配置在加热板上的多个加热器，按各个行通过布线公共连接各个行的加热器，按各个列通过布线公共连接各个列的加热器，而且将各行布线经由开关元件、将各列布线经由开关元件分别公共连接到交流电源的各极。

但是，存在以下的问题：在以多行/多列配置在上述加热板上的多个加热器中，对于作为控制对象的目标加热器，使驱动电流流到对应于其的行侧和列侧布线的情况下，该驱动电流的一部分经由布线流到其他的加热器，除了上述目标加热器被驱动而发热之外，多个其他的加热器也被驱动而发热，对目标加热器的温度控制带来电干扰，其结果影响加热板整体的温度控制。

发明内容

因此，本发明应解决的课题在于，在将多个加热器以多行/多列分别配置在作为控制对象的一例的加热板上，并简化布线，从而对这些各加热器进行驱动控制的温度控制系统中，向加热器的驱动电流作为漏电流流到其他加热器的状态下，能够尽可能最小限度地抑制向该加热器的基于上述漏电流的电干扰(干扰操作量)。

本发明的温度控制系统包括：多个加热器，以多行/多列配置在控制对象上，按每一行、每一列连接到公共的布线，并且将每行的布线分别经由响应于加热器触发(点弧)指令的元件而公共连接到电源一极侧，此外将每列的布线分别经由响应于加热器触发指令的元件而连接到电源另一极侧；以及控制器，基于用于上述控制对象的温度控制而输入的操作量，对上述多个加热器进行驱动控制，其特征在于，

上述控制器包括：输出误差累积单元，对各加热器，在电源的至少每半个周期，根据上述操作量输入、和用于基于该操作量输入对加热器的驱动进行许可而预先设定的阈值，计算输出误差，并且对算出的输出误差进行累积；判定单元，判定累积输出误差是否为上述阈值以上；以及输出控制单元，基于判定单元的判定结果将加热器触发指令输出到对应的元件，

上述输出误差累积单元在更新输出误差累积时，从上述更新值减去经由上述加热器的布线各加热器从其他的加热器中流动的电流受到的干扰操作量。

上述电源不限定于交流电源。

本发明的优选方式是，上述控制器还包括：干扰操作量计算单元，使用表示经由加热器的布线各加热器从其他的加热器中流动的电流受到的干扰程度的相关信息，计算干扰操作量。

本发明的优选方式是，上述控制器还包括：最大输出误差加热器选择单元，通过参照输出误差累积单元从而选择累积输出误差最大的加热器；以及最小干扰加热器选择单元，选择干扰操作量计算单元中的干扰操作量最小的加热器，