[发明专利]薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材

说明书

技术领域

本发明涉及适合形成透明性、阻气性等诸特性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。更具体地，涉及用于形成这些诸特性优异，特别是适合作为液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池模块等的阻气材的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。

背景技术

液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等机器通常不耐湿，由于吸湿使其特性快速劣化，因此必须装备具有高防湿性、即具有防止氧或水蒸气等透过或侵入的阻气性的部件。

例如，在太阳能电池的例子中，在与太阳能电池模块的受光面相反侧的背面设置有底座(back seat)。该底座典型地在基材上由具有高防湿性的阻气材和保护它们的部件等构成。

作为这样的构成太阳能电池模块的底座，例如公开了通过高强度的耐热性耐气候性树脂夹入防湿性金属箔，进而在其一方设置玻璃质的气相沉积薄膜而成的太阳能电池模块的背面保护用片材材料(例如，参考专利文献1)。在该片材材料中，作为阻气材使用铝箔、镀锌铁箔、镀锡铁箔等金属箔。另外，公开了将高防湿薄膜和高耐气候薄膜层压并一体化而成的太阳能电池覆盖材用于背面侧保护部件的太阳能电池(例如，参考专利文献2)。该太阳能电池覆盖材中的高防湿薄膜使用在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜等基材薄膜上通过化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)法等形成由二氧化硅、氧化铝等无机氧化物的涂敷膜构成的防湿膜作为阻气材。另外，公开了具备呈现无机氧化物层的由塑料薄膜或塑料复合材构成的阻挡层的光生伏打模块(例如，参考专利文献3)。在该无机氧化物层中，氧化铝或二氧化硅作为其涂敷材料使用。

专利文献1：日本实公平2-44995号公报(实用新型注册的权利要求书和第五栏的第41～44行)

专利文献2：日本特开2000-174296号公报(权利要求1、权利要求7和[0019]段)

专利文献3：日本特表2002-520820号公报(权利要求1和[0019]段)

但是，上述专利文献1中所示的背面保护用片材材料由于使用铝箔等金属箔作为阻气材，若将该片材材料应用于太阳能电池模块的底座，则有可能耐电压性降低，电流泄漏。另外，使用金属箔的片材材料若金属箔的厚度为20μm以下，则在耐热性耐气候性树脂与金属箔之间产生的针孔增加，阻气性显著降低。另一方面，若增加金属箔的厚度，则产生制造成本提高的问题。另外，如果是上述专利文献2和专利文献3中所使用的二氧化硅、氧化铝等无机氧化物的情况下，为了得到高阻气性必须确保膜厚在100nm以上，即使这样也不能断言阻气性充分。

发明内容

本发明的目的在于，提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材。

本发明的另一目的在于，提供具备透明性和阻气性优异的薄膜的薄膜片材和层压片材。

本发明的第一方面为气相沉积材，混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作，其特征在于，上述第一氧化物粉末为TiO₂粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。

本发明的第二方面为基于第一方面的发明，其特征在于，进一步地，第一氧化物粒子的平均粒径为0.1～10μm，且第二氧化物粒子的平均粒径为0.1～10μm。

本发明的第三方面为膜的制造方法，其特征在于，通过将基于第一或第二方面的气相沉积材用作靶材的真空成膜法，在第一基材薄膜上形成包含第一氧化物所含的金属元素A和第二氧化物所含的金属元素B的氧化物薄膜。

如图1所示，本发明的第四方面为薄膜片材10，通过将基于第一或第二方面的气相沉积材用作靶材的真空成膜法，在第一基材薄膜11上形成包含第一氧化物所含的金属元素A和第二氧化物所含的金属元素B的氧化物薄膜12，薄膜12中的金属元素A与金属元素B的摩尔比为5～85∶95～15。

本发明的第五方面为基于第四方面的发明，其特征在于，进一步地，真空成膜法为电子束蒸镀法、离子镀法、反应性等离子体沉积法、电阻加热法或感应加热法中的一种。

本发明的第六方面为基于第四或第五方面的发明，其特征在于，进一步地，在温度20℃、相对湿度50％RH的条件下放置1小时时的水蒸气透过率S为0.3g/m²·天以下。