[发明专利]曝光底片上CCD对位读取点的设计方法无效
申请号: | 201110052290.0 | 申请日: | 2011-03-04 |
公开(公告)号: | CN102109774A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 李加余;龚俊 | 申请(专利权)人: | 胜宏科技(惠州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 任海燕 |
地址: | 516211 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 底片 ccd 对位 读取 设计 方法 | ||
1.曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,所述曝光底片包括C底片和S底片,在所述C底片或S底片上设置一矩形边框,在矩形边框中心设置一具有缺口的空心圆环;在与其配合使用的S底片或C底片上对应设置一同样大小的矩形边框,在此矩形边框中心设置一实心圆点。
2.根据权利要求1所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上空心圆环的缺口数量为2~6个,所述缺口等间距间隔均匀分布于圆环上。
3.根据权利要求2所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上空心圆环的缺口宽度为10~14mil。
4.根据权利要求3所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上空心圆环内半径为1.2~1.5mm,外半径为内径1.8~2.2mm。
5.根据权利要求4所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述S底片或C底片上的实心圆点半径为0.6~1.0mm。
6.根据权利要求5所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上的矩形边框为正方形边框,尺寸为 5*5~8*8mm,正方形边框线宽12~20mil。
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