[发明专利]曝光底片上CCD对位读取点的设计方法无效

专利信息
申请号: 201110052290.0 申请日: 2011-03-04
公开(公告)号: CN102109774A 公开(公告)日: 2011-06-29
发明(设计)人: 李加余;龚俊 申请(专利权)人: 胜宏科技(惠州)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 任海燕
地址: 516211 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 曝光 底片 ccd 对位 读取 设计 方法
【权利要求书】:

1.曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,所述曝光底片包括C底片和S底片,在所述C底片或S底片上设置一矩形边框,在矩形边框中心设置一具有缺口的空心圆环;在与其配合使用的S底片或C底片上对应设置一同样大小的矩形边框,在此矩形边框中心设置一实心圆点。

2.根据权利要求1所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上空心圆环的缺口数量为2~6个,所述缺口等间距间隔均匀分布于圆环上。

3.根据权利要求2所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上空心圆环的缺口宽度为10~14mil。

4.根据权利要求3所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上空心圆环内半径为1.2~1.5mm,外半径为内径1.8~2.2mm。

5.根据权利要求4所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述S底片或C底片上的实心圆点半径为0.6~1.0mm。

6.根据权利要求5所述的曝光底片上CCD对位读取点的设计方法,其特征在于:所述C底片或S底片上的矩形边框为正方形边框,尺寸为 5*5~8*8mm,正方形边框线宽12~20mil。

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