[发明专利]用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法

权利要求书

1.一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。

2.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述视窗的材料为光学玻璃。

3.如权利要求2所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述光学玻璃的双面经过抛光。

4.如权利要求2所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述光学玻璃的双面镀有增透膜。

5.如权利要求2所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述光学玻璃的面型为八分之一波长。

6.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述微晶玻璃的热膨胀系数小于等于0.02×10^-6/℃。

7.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述箱体的长度为25cm～40cm、宽度为25cm～40cm、高度为25cm～40cm。

8.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括风机，所述风机置于所述箱体内。

9.如权利要求8所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括风机出风窗体，所述风机出风窗体置于所述箱体内，并且所述风机出风窗体设置于所述风机的出风口。

10.如权利要求8所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括风扇过滤装置，所述风扇过滤装置置于所述箱体内，所述风扇过滤装置设置于所述风机的出风口。

11.如权利要求10所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述风扇过滤装置为过滤网。

12.如权利要求11所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，所述过滤网的材料为低化学气体散播组合材料。

13.如权利要求8所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控器，其特征在于，还包括电机过载保护器，所述电机过载保护器与所述风机连接，当所述风机的电机过载时，所述电机过载保护器使得所述风机停止工作。

14.如权利要求13所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控器，其特征在于，还包括故障指示装置，所述故障指示装置与所述电机过载保护器连接，当所述电机过载保护器使得所述风机停止工作时，所述故障指示装置状态改变。

15.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括温度传感器，所述温度传感器置于所述箱体内。

16.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括制冷装置，所述制冷装置置于所述箱体内。

17.如权利要求1所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括超温保护器，所述超温保护器与所述加热装置连接，当所述箱体内的温度超过预设值时，所述超温保护器使得所述加热装置停止工作。

18.如权利要求17所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，还包括故障指示装置，所述故障指示装置与所述超温保护器连接，当所述超温保护器使得所述加热装置停止工作时，所述故障指示装置状态改变。

19.一种干涉仪热漂移系数的测量系统，其特征在于，包括：如权利要求1至18中的任一项所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、激光器、激光接收器和激光计数卡，所述激光计数卡与所述激光接收器连接，所述激光器发射激光，所述激光穿过所述视窗和干涉仪，然后经过所述测量反射镜反射，再次穿过所述干涉仪和视窗至所述激光接收器，通过所述激光计数卡进行数据处理得到一测量值。

20.如权利要求19所述的干涉仪热漂移系数的测量系统，其特征在于，还包括导光元件，在所述激光穿过所述视窗和干涉仪前，所述激光先通过所述导光元件。