[发明专利]用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及干涉仪性能测试领域，特别涉及一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、干涉仪热漂移系数的测量系统和干涉仪热漂移系数的测量方法。

背景技术

干涉仪是一种利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长，所以干涉仪是以光波波长为单位测量

光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。

干涉仪作为一种超精密的非接触式测量设备，可以进行高速高精密的位移测量，如果与不同的附件组合，还可以进行长度、速度、角度、平面度、直线度等测量，具有测量范围大、分辨率高、精度高等优势。在半导体制造、精密机床技工、军事、航天、汽车制造、坐标测量等领域都具有非常广泛的应用。随着干涉仪分辨率和测量精度的不断提高，非线性误差和热漂移误差越来越引起人们的重视。

所谓热漂移误差，主要是由于环境温度变化会导致干涉仪内光学元件长度或折射率变化以及干涉仪材料热膨胀，引起干涉仪参考臂与测量臂的光程变化产生光程差变化，从而带来测量误差。可见，温度变化对于干涉仪的测量产生较大的影响，因此，测得干涉仪随温度的变化情况，即干涉仪热漂移系数非常重要。当得知干涉仪热漂移系数后，便可根据该得到的干涉仪热漂移系数对干涉仪进行热漂移补偿。然而，现有技术中并未提供一种干涉仪热漂移系数的测

量系统或者测量方法，以便精确、方便地测得干涉仪热漂移系数。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和测量方法，以解决现有技术中并未提供一种干涉仪热漂移系数的测量系统或者测量方法，难以精确、方便地测得干涉仪热漂移系数的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述视窗的材料为光学玻璃。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述光学玻璃的双面经过抛光。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述光学玻璃的双面镀有增透膜。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述光学玻璃的面型为八分之一波长。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述微晶玻璃的热膨胀系数小于等于0.02×10^-6/℃。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述箱体的长度为25cm～40cm、宽度为25cm～40cm、高度为25cm～40cm。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，还包括风机，所述风机置于所述箱体内。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，还包括风机出风窗体，所述风机出风窗体置于所述箱体内，并且所述风机出风窗体设置于所述风机的出风口。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，还包括风扇过滤装置，所述风扇过滤装置置于所述箱体内，所述风扇过滤装置设置于所述风机的出风口。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述风扇过滤装置为过滤网。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，所述过滤网的材料为低化学气体散播组合材料。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，还包括电机过载保护器，所述电机过载保护器与所述风机连接，当所述风机的电机过载时，所述电机过载保护器使得所述风机停止工作。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，还包括故障指示装置，所述故障指示装置与所述电机过载保护器连接，当所述电机过载保护器使得所述风机停止工作时，所述故障指示装置状态改变。

可选的，在所述的用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱中，还包括温度传感器，所述温度传感器置于所述箱体内。