[发明专利]用于封装一衬底的方法及装置

权利要求书

1.一种显示装置，其包括经配置用于干涉调制光的可移动镜阵列，所述显示装置包括：

一透明衬底；

一干涉式调制器，其包括所述可移动镜阵列，且其中所述干涉式调制器经配置以对透射穿过所述透明衬底的光进行调制；及

一沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板，其将所述可移动镜阵列密封在所述透明衬底与所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板之间的一封装内，且其中在所述可移动镜的整个阵列与所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板之间存在一间隙。

2.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述间隙是通过移除一位于所述可移动镜阵列与所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板之间的牺牲层来形成。

3.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板含有一气密性材料。

4.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜是镍。

5.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜是铝。

6.根据权利要求1所述的显示装置，其进一步包括：

一与所述可移动镜阵列电相通的处理器，所述处理器经配置以处理图像数据；及

一与所述处理器电相通的存储装置。

7.根据权利要求6所述的显示装置，其进一步包括：

一驱动电路，其经配置以将至少一信号发送至所述可移动镜阵列。

8.根据权利要求7所述的显示装置，其进一步包括：

一控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送至所述驱动电路。

9.根据权利要求6所述的显示装置，其进一步包括：

一图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送至所述处理器。

10.根据权利要求9所述的显示装置，其中所述图像源模块包括一接收器、收发器、及发射器中的至少一个。

11.根据权利要求6所述的显示装置，其进一步包括：

一输入装置，其经配置以接收输入数据并将所述输入数据传送至所述处理器。

12.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述显示装置包括一蜂窝式电话。

13.一种制造一显示装置的方法，其包括经配置用于干涉调制光的可移动镜阵列，所述方法包括：

提供一透明衬底；

在所述透明衬底上形成一干涉式调制器，其中所述干涉式调制器包括所述可移动镜阵列；及

在所述可移动镜阵列及所述透明衬底上沉积一不需依靠支撑物的薄膜背板，以将所述可移动镜阵列密封在所述透明衬底与所述不需依靠支撑物的薄膜背板之间，其中在所述可移动镜的整个阵列与所述不需依靠支撑物的薄膜背板之间存在一间隙。

14.根据权利要求13所述的方法，其进一步包括：

在沉积所述不需依靠支撑物的薄膜背板之前，在所述干涉式调制器上沉积一牺牲层；及

在沉积所述不需依靠支撑物的薄膜背板之后，移除所述牺牲层，以便在所述干涉式调制器与所述不需依靠支撑物的薄膜背板之间提供所述间隙。

15.根据权利要求14所述的方法，其进一步包括将所述不需依靠支撑物的薄膜背板图案化，以在所述不需依靠支撑物的薄膜背板中形成至少一个开口。

16.根据权利要求14所述的方法，其进一步包括将所述不需依靠支撑物的薄膜背板图案化，以暴露出所述牺牲层的一部分。

17.根据权利要求13所述的方法，其中所述不需依靠支撑物的薄膜背板是由铝形成。

18.根据权利要求13所述的方法，其中所述不需依靠支撑物的薄膜背板是由镍形成。

19.根据权利要求13所述的方法，其中所述不需依靠支撑物的薄膜背板是由旋涂玻璃形成。

20.根据权利要求13所述的方法，其中所述不需依靠支撑物的薄膜背板是由一气密性材料形成。

21.根据权利要求14所述的方法，其中所述牺牲层是由旋涂玻璃形成。