[发明专利]电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置

权利要求书

1.一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，包括：

光阑架、光阑片、压片和光阑孔调节装置；

所述光阑架上设有定位槽和压片，所述光阑片设置在所述定位槽内，并通过所述压片压住；所述光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；

所述光阑孔调节装置设有光阑轴，所述光阑架设置在所述光阑轴前端，能通过所述光阑孔调节装置调节所述光阑轴对所述光阑架上的光阑片的光阑孔进行选择及空间三个方向上的微调定位；

所述光阑孔调节装置还设有调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，所述光阑轴后端设置有所述调节手柄，能在所述调节手柄的控制下前伸或后缩至不同档位；所述尾盖螺帽位于所述光阑孔调节装置的后部，经拉杆与所述光阑轴后端连接，能控制所述光阑轴来调整所述光阑架上光阑片的前后位置；所述光阑轴与所述微调装置相对应，在所述微调装置的控制下，通过调整所述光阑轴对所述光阑架上的光阑片进行水平和竖直方向的位置调整，使所述光阑架上光阑片的光阑孔的中心处于电子束的轴线上。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，所述光阑孔调节装置还包括：

支座、套筒、轴套、密封头、密封圈、限位圈、标度环和尾盖；

支座内设有通孔，套筒固定设置在所述通孔内，轴套套装在所述套筒内，所述光阑轴活动设置在所述轴套内，光阑轴两端伸出在轴套外，轴套前端设有密封头，密封头内设有密封圈；

支座的后端设置所述微调装置，微调装置环绕设置在所述轴套外面，微调装置上环绕分布设置多个微调部件，各微调部件的前端均与套装在轴套外的定位块接触；

靠近微调装置的轴套后端设置标度环，标度环套装在轴套外面；

所述轴套后端的光阑轴上依次连接有套管、拉杆，所述调节手柄活动套装在所述套管外面，所述调节手柄的前端活动套装在所述标度环外，套管外固定设置限位圈，限位圈设置在套管与所述调节手柄之间，限位圈上设有多个定位卡槽；

所述调节手柄和光阑轴的后端设有尾盖，所述尾盖扣装在调节手柄后端的开口上，能封闭住所述调节手柄后端的开口，尾盖用螺钉与套装在所述拉杆外的衬套固定连接。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，所述光阑轴穿设在所述轴套内为：在光阑轴外面设置缓冲弹簧，所述缓冲弹簧设置在光阑轴与所述轴套之间。

4.根据权利要求2所述的电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，所述微调装置环绕设置在所述轴套外面，微调装置上环绕分布设置多个微调部件为：微调装置设置有两个半圆块和一个定位块，定位块套装在所述轴套外，两个半圆块均与所述支座用螺钉固定连接，两个半圆块套装在所述定位块外面，两个半圆块上分布设有四个螺帽孔，三个螺帽孔内均设有螺帽，三个螺帽相互垂直，两个螺帽前端装有弹簧，弹簧前端均设有圆形填块，圆形填块分别设置在所述定位块的圆形凹槽内，另外一个螺帽前端装有圆形填块，所述圆形填块设置在所述螺帽前端的圆形凹槽内，其前端与所述定位块接触，三个螺帽前端均通过圆形填块顶住所述定位块；

半圆块的另一个螺帽孔内设有推杆，推杆前、后端均设有活动的钢球，推杆后端设置调节螺帽，推杆前端设有圆形填块，圆形填块装在所述定位块的圆形凹槽内，推杆前端通过圆形填块顶住所述定位块。

5.根据权利要求4所述的电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，所述定位块为中间带有通孔的方形结构，其三个外壁上设有放置填块的圆形凹槽。

6.根据权利要求2所述的电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，所述调节手柄上设有定位螺钉，定位螺钉穿过所述调节手柄体，其前端与所述调节手柄内固定在所述套管上的限位圈的定位卡槽相对应，能在调节所述调节手柄时配合限位圈的定位卡槽使光阑轴定位至不同的档位。

7.根据权利要求1所述的电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，所述光阑片为采用钼片制成的光阑片，所述光阑片的光阑孔周围设有4个月牙孔。