[发明专利]电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子显微镜技术领域，尤其涉及一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置。

背景技术

电子显微镜是一种可以观察微小物质的重要仪器，可以观察0.25nm以下的物质。电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。

电子显微镜通过电子束照射在样品上，实现对样品的观察，电子枪和聚光镜是电子显微镜的照明系统。电子显微镜要求聚光镜能提供最大亮度的电子束，照射在样品上的电子束孔径角必须能在一定范围内调节，照明斑点的大小可按需要选择。聚光镜是以电子枪的交叉点作为成像的物体而成像到样品上，一般电子枪交叉点的尺寸为几十微米。为了保持一定高度并把电子束斑对样品加热的影响限制在最低，要求样品处的束斑为几个微米，对此，聚光镜必须把电子束斑缩小。对于高性能的电子显微镜，不同的样品要求有不同的束斑大小，对不同的样品应选择不同的照明孔径角，对此，设计了能连续改变照明孔径角的第二聚光镜装置。但如何通过第二聚光镜获得不同的照明孔径角，是个需要解决的问题。

发明内容

本发明实施方式的目的是提供一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，可设置在电子显微镜的第二聚光镜上，通过选择不同的光阑孔，获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同样品要求可提供不同的照明孔径角。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施方式提供一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，包括：

光阑架、光阑片、压片和光阑孔调节装置；

所述光阑架上设有定位槽和压片，所述光阑片设置在所述定位槽内，并通过所述压片压住；所述光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；

所述光阑孔调节装置设有光阑轴，所述光阑架设置在所述光阑轴前端，通过光阑孔调节装置调节所述光阑轴对所述光阑架上的光阑片的光阑孔进行选择及空间三个方向上的微调定位；

所述光阑孔调节装置还设有调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，所述光阑轴后端设置有所述调节手柄，能在所述调节手柄的控制下前伸或后缩至不同档位；所述尾盖螺帽位于所述光阑孔调节装置的后部，所述尾盖螺帽经拉杆与所述光阑轴后端连接，能控制所述光阑轴来调整所述光阑架上光阑片的前后位置；所述光阑轴与所述微调装置相对应，在所述微调装置的控制下，通过调整所述光阑轴对所述光阑架上的光阑片进行水平和竖直方向的位置调整，使所述光阑架上的光阑片的光阑孔中心处于电子束的轴线上。

本发明实施方式提供的可动光阑装置，通过将具有四个不同孔径通孔作为光阑孔的光阑片经光阑架和压片设置在光阑孔调节装置的光阑轴的前端，从而可以通过光阑孔调节装置方便的选择使用光阑片上的光阑孔，并在空间三个方向上精密调整，使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单、操作方便，密封性好，用在电子显微镜的第二聚光镜中，通过选择不同的光阑孔，获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同样品要求可提供不同的照明孔径角，从而提高电子显微镜的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本发明实施例提供的可动光阑装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的可动光阑装置的光阑架的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的可动光阑装置的光阑片的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的可动光阑装置的主视结构示意图；

图5为图4的可动光阑装置的A-A面剖视结构示意图；

图6为本发明实施例提供的可动光阑装置的后视结构示意图；

图7为本发明实施例提供的可动光阑装置的另一角度结构示意图；

图8为图7的可动光阑装置的B-B面剖视结构示意图；

图9为本发明实施例提供的可动光阑装置的支座的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的可动光阑装置的支座与微调装置的半圆块连接示意图；

图11为本发明实施例提供的可动光阑装置的光阑轴与弹簧配合的结构示意图；

图12为本发明实施例提供的可动光阑装置的调节手柄的结构示意图；

图13为本发明实施例提供的可动光阑装置的限位圈的结构示意图；

图14为本发明实施例提供的可动光阑装置的限位圈的另一角度结构示意图；