[发明专利]一种用于双臂传输机器人装配调整/模拟工位传输的试验台

说明书

技术领域

本发明涉及在半导体设备制造领域内，一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台。双臂传输机器人装配后，经过试验台的调整，当T轴处于零位时，可使双臂机器人FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机器人FORK中心的运动轨迹提供了原始定位基准。基准确定后，还可以在试验台上进行模拟的硅片工位间传输。

背景技术

从理论和设计的观点上讲，当双臂传输机器人的T轴处于零位，双臂向前平伸，左右机械臂FORK的圆心是重合的。但由于制造误差的装配误差的存在，实际上双臂传输机器人的左右机械臂FORK的圆心是不重合的。为了使左右机械臂FORK的圆心不重合程度小于规定的指标，需要双臂传输机器人在装配调试时，有一个确定左右机械臂FORK圆心的基准；当左右机械臂FORK圆心依此基准进行调试合格后，还要依据双臂传输机器人确定的工作流程，规划工作路径，在工位间进行硅片的传输实验，以验证双臂传输机器人的功能指标。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整左右机械臂FORK中点重合的试验台，通过试验台提供确定双臂FORK中点的基准。当双臂FORK依此基准进行调试合格后，在试验台上拆除安装在T轴零位的基准/夹紧模块，在原位置安装模拟工位，并依据双臂传输机器人确定的工作流程来规划工作路径，在工位间进行硅片的传输实验，以检验双臂传输机器人的各项功能指标及长期运转的可靠性。

本发明的发明目的是这样实现的：一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，包括模拟1工位1、主机支撑板2、模拟2工位支撑板3、模拟2工位4、框架组合5、模拟1片盒6、模拟2片盒7、模拟片盒支撑板8、基准/夹紧模块9、安装螺钉10、调节装置底板11、左小臂定位活动夹板12、左臂橡胶接触板13、左小臂固定夹板14、小臂中间定位板15、右臂橡胶接触板16、右小臂定位活动夹板17、右小臂固定夹板18、中心定位块19。

用工业铝型材组装的试验台框架组合5的上面，装有主机支撑板2、模拟2工位支撑板3、模拟片盒支撑板8；主机支撑板2上开有主机安装孔内，安装双臂传输机器人的主机，T轴的零位位置根据使用功能不同，可安装基准/夹紧模块9或模拟1工位1；、模拟2工位支撑板3上装有模拟2工位4；模拟片盒支撑板8上装有模拟1片盒6和模拟2片盒7。

当进行双臂传输机器人左右机械臂FORK圆心基准调试时，将基准/夹紧模块9安装在主机支撑板2的T轴零位位置，并以安装螺钉10紧固。将双臂传输机器人主机放入试验台内并以惟一位置固定，然后将T轴调至零位；调正零位后，将左右两臂的小臂紧靠在基准/夹紧模块9的小臂中间定位板15上，并以左小臂固定夹板14、左小臂定位活动夹板12夹紧左小臂；以右小臂固定夹板18、右小臂定位活动夹板17夹紧右小臂。此时，两臂的大臂和小臂均已固定，只有取片臂能够活动。

将两个取片臂及FORK组合的联接螺钉拧松，前后左右的转动或平移上下取片臂，使FORK组合的圆心与中心定位块19的圆心完全吻合后，再将所有松开的螺钉紧固到位。保持现有紧固状态，将两个小臂的同步带与带轮安装啮合，调整同步带预紧机构，保持足够的预紧力，并检查双臂的传动机构，确保没有无约束的自由转动或移动。然后按规定步骤拆除基准/夹紧模块9。

当在工位间进行硅片的传输实验时，将模拟1工位1安装在主机支撑板2的T轴零位位置，然后依据双臂传输机器人确定的工作流程来规划工作路径，在工位间进行硅片的传输实验，以检验双臂传输机器人的各项功能指标及长期运转的可靠性。

本发明一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，具有如下优点：

1、在本发明中，左右机械臂FORK圆心重合的调整过程使用同一基准的中心定位块19，因此定位精度较高，重复精度好。

2、在完成左右机械臂FORK圆心重合的调整后，无需搬运主机，只要拆除基准/夹紧模块9、将模拟1工位1安装在主机支撑板2的T轴零位位置，即可进行硅片的传输试验。因此本发明可以减少工位试验的系统误差，提高硅片传输精度。

3、本发明之装配调整/模拟工位传输试验台，结构简单、作用可靠、操作简便、可有效降低双臂传输机器人的调试成本。

附图说明

图1为本发明一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台俯视图，此时试验台由于安装了模拟1工位1，处于硅片的传输实验状态。