[发明专利]封装装置及封装方法无效
申请号: | 201110068089.1 | 申请日: | 2011-03-21 |
公开(公告)号: | CN102690045A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 韦学志;陈勇辉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | C03B23/24 | 分类号: | C03B23/24;H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及平板显示器的制造工艺领域,尤其涉及一种可控喷射流体压紧系统以及使用该系统完成激光玻璃料封装的方法。
背景技术
平板显示器(Flat Panel Display)自20世纪90年代开始迅速发展,并逐步走向成熟,广泛应用于家用电器、电脑和通讯产品中。平板显示器分为主动发光和被动发光两类。前者指显示媒质本身发光而提供可见辐射的显示器件,包括等离子显示器(PDP)、真空荧光显示器(VFD)、场发射显示器(FED)、电致发光显示器(LED)和有机发光二极管显示器(OLED)等。后者指本身不发光,而是利用显示媒质被电信号调制后,其光学特性发生变化,对环境光和外加电源(背光源、投影光源)发出的光进行调制,在显示屏或银幕上进行显示的器件,包括液晶显示器(LCD)、微机电系统显示器(DMD)和电子油墨(EL)显示器等。
而从产值而言,目前主要以LCD、PDP、OLED为平板显示的三大支柱,其中LCD和PDP相对成熟,而OLED作为下一代显示技术,在色域、视角、能耗、外形轻薄、响应速度等主要指标方面相较于LCD和PDP都有明显优势,另外,OLED还具有可制成柔性显示器件的特殊性质,因而OLED显示器件未来的发展前景非常广阔。
但从现阶段来看,由于材料和工艺原因,OLED器件还存在工作寿命较短的问题,对OLED技术的产业化进程和应用造成了较大的阻碍。除了早期有机发光材料本身寿命不够理想外,更重要的原因在于有机发光材料对氧气和水汽的高度敏感,水汽和氧气的渗入,会造成OLED器件内阴极氧化、脱膜、有机层结晶等效应,致使器件提前老化乃至损坏,出现常见的有黑点、像素收缩和光强衰减等现象。按照商用化产品的要求,OLED器件至少达到工作寿命10,000小时和存储寿命50,000小时,水汽渗透率(WVTR)小于10-6g/m2/day,氧气渗透率(OTR)小于10-5cc/bar/m2/day,对于水氧的渗透率要求明显高于LCD。
目前应用于OLED器件封装的主要技术有UV胶封盖式密封和薄膜密封两种技术,前者由于使用大分子的环氧树脂材料,材料内存在许多微细孔,仍无法完全阻止环境中的水汽和氧气的渗入,所以利用该种技术封装的器件寿命还不够理想;进一步的改进措施是在密封体内预置干燥材料,来提高产品寿命,这样就带来工艺环节、成本及设备购置等问题,并且其寿命提高程度有限;而薄膜封装采用多种无机或有机薄膜淀积在OLED有机发光材料上形成水汽和氧气的隔离层,但相关材料的实际表现还远远不及传统的UV胶盖式密封加干燥剂的方法,所以还需要较长时间的封装材料研发和改进。
事实上,低熔点玻璃粉作为一种先进的焊接材料,具有较低的熔化温度和封接温度,良好的耐热性和化学稳定性,很高的机械强度,可实现玻璃、陶瓷、金属、半导体间的相互封接,因而被广泛应用于真空和微电子技术、激光和红外技术、高能物理、能源、宇航、汽车等众多领域。US6998776提出利用激光辐射源照射熔融材料的方法应用于OLED器件的玻璃密封,采用激光封装的好处在于局部非接触式加热,对OLED等温度敏感器件热影响区域小;由于是同质封装,可获得一致和密实的封装强度,很好地隔绝水汽和氧气,达到比UV胶盖式封装性能更好、寿命更久的效果;另外,封装线的宽度和厚度可以很小,对器件的轻薄和宽视域有明显好处。
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