[发明专利]封装芯片检测与分类装置有效
申请号: | 201110069606.7 | 申请日: | 2011-03-18 |
公开(公告)号: | CN102683166A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 汪秉龙;陈桂标;陈信呈 | 申请(专利权)人: | 久元电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;G01R31/28 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 郑小军;冯志云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 芯片 检测 分类 装置 | ||
1.一种封装芯片检测与分类装置,其特征在于,包括:
一用于输送多个封装芯片的旋转单元,其具有至少一可旋转转盘、多个设置于上述至少一可旋转转盘上的容置部、及多个分别设置于上述多个容置部内的吸排气两用开口,其中每一个容置部内能选择性地容纳上述多个封装芯片中的至少一个;
一芯片测试单元,其具有至少一邻近该旋转单元且用于测试每一个封装芯片的芯片测试模块;以及
一芯片分类单元,其具有至少一邻近该旋转单元且用于分类上述多个封装芯片的芯片分类模块。
2.如权利要求1所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一输送单元,其具有至少一邻近该旋转单元且依据不同时序以依序对应每一个容置部的输送元件。
3.如权利要求2所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一芯片方位检测单元,其邻近该输送单元与该旋转单元,其中该芯片方位检测单元具有一位于该封装芯片下方的反射镜及一位于该反射镜的一侧边旁的芯片方位图像提取元件。
4.如权利要求3所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一芯片方位调整单元,其具有一邻近该芯片方位检测单元且用于将该封装芯片的方位进行调整的芯片方位调整吸嘴。
5.如权利要求1所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一承载单元,其具有至少一承载底盘,其中上述至少一可旋转转盘设置于上述至少一承载底盘上。
6.如权利要求1所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,上述多个容置部环绕地设置于上述至少一可旋转转盘的外周围。
7.如权利要求1所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,上述至少一芯片测试模块具有多个用于选择性地电性接触每一个封装芯片且用于判断每一个封装芯片为良好封装芯片或不良封装芯片的检测探针及至少一用于移动每一个封装芯片去电性接触上述多个检测探针的移动吸嘴。
8.如权利要求7所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,上述至少一芯片分类模块具有至少一用于接收每一个良好封装芯片的第一通行部及至少一用于接收每一个不良封装芯片的第二通行部。
9.如权利要求1所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一芯片表面检测单元,其邻近该旋转单元且位于上述至少一芯片测试模块与上述至少一芯片分类模块之间,其中该芯片表面检测单元具有至少一位于该封装芯片的上方的芯片正面图像提取元件及至少一位于该封装芯片的下方的芯片背面图像提取元件。
10.一种封装芯片检测与分类装置,其特征在于,包括:
一用于输送多个封装芯片的第一旋转单元,其具有至少一第一可旋转转盘、多个设置于上述至少一第一可旋转转盘上的第一容置部、及多个分别设置于上述多个第一容置部内的第一吸排气两用开口,其中每一个第一容置部内能选择性地容纳上述多个封装芯片中的至少一个;
一芯片测试单元,其具有至少一邻近该第一旋转单元且用于测试每一个封装芯片的芯片测试模块;
一第二旋转单元,其邻近该第一旋转单元,其中该第二旋转单元具有至少一第二可旋转转盘、多个设置于上述至少一第二可旋转转盘上的第二容置部、及多个分别设置于上述多个第二容置部内的第二吸排气两用开口,其中每一个第二容置部内可选择性地容纳上述由该第一旋转单元所输送来的多个封装芯片中的至少一个;以及
一芯片分类单元,其具有至少一邻近该第二旋转单元且用于分类上述多个封装芯片的芯片分类模块。
11.如权利要求10所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一输送单元、一芯片方位检测单元、及一芯片方位调整单元;其中该输送单元具有至少一邻近该第一旋转单元且依据不同时序以依序对应每一个第一容置部的输送元件;其中该芯片方位检测单元邻近该输送单元与该第一旋转单元,且该芯片方位检测单元具有一位于该封装芯片下方的反射镜及一位于该反射镜的一侧边旁的芯片方位图像提取元件;其中该芯片方位调整单元具有一邻近该芯片方位检测单元且用于将该封装芯片的方位进行调整的芯片方位调整吸嘴。
12.如权利要求10所述的封装芯片检测与分类装置,其特征在于,还包括:一承载单元,其具有至少一承载底盘,其中上述至少一第一可旋转转盘与上述至少一第二可旋转转盘皆设置于上述至少一承载底盘上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于久元电子股份有限公司,未经久元电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110069606.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造