[发明专利]用于封装一MEMS装置的方法及系统无效
申请号: | 201110069655.0 | 申请日: | 2005-09-12 |
公开(公告)号: | CN102169229A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 马克·W·迈尔斯;杰弗里·B·桑普塞尔;洛朗·帕尔玛蒂尔;布莱恩·W·阿巴克尔;菲利浦·D·弗洛伊德 | 申请(专利权)人: | 高通MEMS科技公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;B81C1/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 沈锦华 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 封装 mems 装置 方法 系统 | ||
1.一种显示器装置,其包括:
干涉调制器阵列,其安置在透明衬底的第一表面上;
载体,其密封至所述透明衬底以形成囊封所述干涉调制器阵列的封装;
外装置壳,其中所述载体安置在所述外装置壳中,且其中所述载体的硬度大于所述外装置壳的硬度。
2.如权利要求1所述的显示器装置,其中所述载体包括经配置以阻止水蒸汽传递进所述封装的材料。
3.如权利要求1所述的显示器装置,其中所述载体包括天线。
4.一种显示器装置,其包括:
载体,所述载体包括第一表面;
透明衬底,其密封至所述载体的所述第一表面,以形成密封的封装;
干涉调制器阵列,其安置在所述透明衬底上且密封在所述封装内;及
辅助装置组件,其安置在所述载体的所述第一表面上。
5.如权利要求4所述的显示器装置,其中所述辅助装置组件自所述透明衬底横向的放置。
6.如权利要求4所述的显示器装置,其中所述显示装置包括电话。
7.如权利要求4所述的显示器装置,其中所述辅助装置组件包括输入机构。
8.如权利要求4所述的显示器装置,其中所述辅助装置组件包括由所述载体的所述第一表面支撑的键盘。
9.如权利要求4所述的显示器装置,其中所述载体包括水蒸气传递屏障。
10.如权利要求4所述的显示器装置,其中所述载体包括天线。
11.一种显示器装置,其包括:
干涉调制器阵列,其安置在透明衬底的第一表面上;
载体,其中所述载体的第一表面密封至所述透明衬底的所述第一表面以形成囊封所述干涉调制器阵列的封装,其中所述载体的所述第一表面的表面区域大于所述透明衬底的所述第一表面的表面区域;及
辅助装置组件,其中所述辅助装置组件安置在所述载体的第二表面上,且其中所述载体包括延伸穿过所述载体的电馈通线。
12.如权利要求11所述的显示器装置,其中所述辅助装置组件包括驱动器电路。
13.如权利要求11所述的显示器装置,额外地包括由所述载体的所述第一表面支撑的输入机构。
14.如权利要求13所述的显示器装置,其中所述输入机构包括键盘。
15.如权利要求13所述的显示器装置,其中所述输入机构包括麦克风。
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