[发明专利]用于封装一MEMS装置的方法及系统

说明书

分案申请的相关信息

本申请是申请号为200510102594.8；申请日为2005年9月12日；发明名称为“用于封装一MEMS装置的方法及系统”的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明的技术领域涉及微机电系统(MEMS)。本发明的实施例涉及微机电系统(MEMS)及用于封装这些系统的方法。更具体而言，本发明涉及使用一背板来封装一干涉式调制器，所述背板还容纳连接至调制器的电子电路。

背景技术

消费者通常希望电子产品尽可能小且轻。随着平板显示器性能的提高及应用更加广泛，产品的尺寸受显示器的尺寸推动的情况已不足为怪，这使人们面临很大的压力来使产品的其余部分适合装在一个最小的体积内。上述体积的两个尺寸通常由平板显示器的2D占用面积来定义。随着对产品“薄度”的期望越来越高，人们越来越希望制作更薄的层、合并多个层及/或从产品中取消层。产品的层的实例包括但不限于：用于保护显示器的透明窗口、介于保护性窗口与显示器之间的气隙、显示器前面的前灯、触摸屏、具有光学功能的塑料膜、显示器前玻璃、显示器的有源层、显示器的后玻璃、显示器后面的后灯、PC板、承载互连线的塑料膜、及构成所述产品的实体外壳的塑料层和金属层。

当前用于制造便携式手持电子装置的主要显示器为液晶显示器(LCD)。LCD的主要层包括一前玻璃、一后玻璃及数个塑料光学膜。由于LCD的特性所致，其前板及后板二者均用作LCD的有源或功能组件，此限制了可将层进行合并、取消及/或替换为更薄的层以便降低整个显示器厚度的程度。另外，LCD的这两个板的有源性质限制了可用于这些板的材料，并由此限制了这些板的强度和寿命。如果除了使用适用于LCD板的材料所能提供的强度及/或保护之外还需要额外的强度及/或保护，则除LCD的板之外可能还需要其他材料层，而此可能会增加装置的厚度、重量及成本。

微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器及电子元件。微机械元件可采用沉积、蚀刻或其他可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或二者均可全部或部分地透明及/或为反射性，且在施加一个适当的电信号时能够相对运动。其中一个板可包含一沉积在一衬底上的静止层，另一个板可包含一通过一空气间隙与该静止层隔开的金属隔板。上述装置具有广泛的应用范围，且在此项技术中，利用及/或修改这些类型装置的特性、以使其性能可用于改善现有产品及制造目前尚未开发的新产品将颇为有益。

发明内容

本发明的系统、方法及装置均具有多个方面，任一单个方面均不能单独决定其所期望特性。现在，对其更主要的特性进行简要说明，此并不限定本发明的范围。在查看这一说明，尤其是在阅读了标题为“具体实施方式”的部分之后，人们即可理解本发明的特性如何提供优于其他显示装置的优点。

在一实施例中，例如，提供一种显示器，其包括一透明衬底、一配置成使光反射穿过所述透明衬底的干涉式调制器阵列、一密封至所述透明衬底且为所述干涉式调制器提供一空腔的背板、及位于所述背板上且与所述干涉式调制器阵列电连接的电子电路。

在另一实施例中，提供一种具有一显示器的装置，其包括一透明衬底、一配置成使光反射穿过所述透明衬底的干涉式调制器阵列、及一密封至所述透明衬底且为所述干涉式调制器提供一空腔的背板，其中所述背板包含配置成控制所述干涉式调制器的电子电路。在进一步的实施例中，所述背板用作所述显示器的一主要结构组件，且为配置成控制所述显示器的附加电子电路提供实体支撑。

在另一实施例中，提供一种制造一显示装置的方法，该方法包括：提供一包含一干涉式调制器阵列的透明衬底、提供一包含配置成控制所述干涉式调制器阵列的电子电路的背板、及将所述透明衬底密封至所述背板以在所述干涉式调制器阵列上方形成一空腔，且其中所述电子电路被设置为与所述干涉式调制器阵列电相通。在另一实施例中，提供一种装置，所述装置通过上述方法制造而成。

在另一实施例中，提供一种显示器，其包括：用于调制光并使光朝一观察者反射的构件、一用于支撑所述调制构件的第一构件、用于控制所述调制构件的状态的构件、及一用于支撑所述控制构件并为所述调制构件提供一空腔的第二构件。