[发明专利]振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法

权利要求书

1.一种振动型陀螺仪，该振动型陀螺仪用于检测被施加给振动片的旋转的角速度，其特征在于，

上述振动片具有：

基部；

驱动部，其进行预定的振动；

检测部，其在与上述驱动部相同的平面内延伸，并检测由伴随上述驱动部旋转的科里奥利力所产生的检测振动；

第一锤部，其用于上述振动片的特性调节，并形成在上述驱动部的远离上述基部的侧端部；以及

第二锤部，其用于上述振动片的特性调节，并形成在上述检测部的远离上述基部的侧端部，

上述第一锤部和第二锤部的至少一方由每单位面积的质量不同的多个调节部形成，

上述第二锤部的宽度比上述第一锤部的宽度宽。

2.根据权利要求1所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

上述多个调节部能够通过除去每单位面积的质量大的调节部进行粗调，能够通过除去每单位面积的质量小的调节部进行微调。

3.根据权利要求1所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

上述第一锤部的质量设定为比上述第二锤部的质量小。

4.根据权利要求1所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

对于在上述驱动部和上述检测部内形成有该调节部的部分，在上述驱动部，上述调节部形成在与该驱动部的延伸方向大致正交的方向的所有区域内，在上述检测部，上述调节部形成在与该检测部的延伸方向大致正交的方向的所有区域内。

5.根据权利要求1所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

上述第一锤部和第二锤部中的至少一方由厚度不同的多个调节部形成。

6.根据权利要求5所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

上述第一锤部的调节部和上述第二锤部的调节部使用相同的金属，形成为相同的厚度。

7.根据权利要求5所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

上述厚度不同的多个调节部中的靠近上述驱动部或上述检测部的前端的一侧的调节部的厚度，形成为比其他调节部的厚度大。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

该振动型陀螺仪具有保持器，上述振动片安装在上述保持器上。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的振动型陀螺仪，其特征在于，

该振动型陀螺仪具有：

保持器，上述振动片安装在上述保持器上；以及

电路元件，其安装在上述保持器上，并具有用于驱动至少上述振动片的电路。