[发明专利]振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法

说明书

本申请是申请日为2005年09月29日、申请号为200580033373.8(PCT/JP2005/018505)、发明名称为“振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法”的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪搭载压电振动片、用于检测被施加给该压电振动片的旋转的旋转角速度。

背景技术

以往，作为用于检测旋转角速度的角速度传感器，使用压电振动片的振动型陀螺仪已被用于检测VTR、相机的手抖动等。参照附图对该振动型陀螺仪的一个例子进行说明。图8是示出现有振动型陀螺仪的压电振动片的一个例子的平面图。如图8所示，在压电振动片100的主臂102上，基部103从固定部101垂直地延伸，基部103的一端部103a固定在固定部101上。在基部103上设有检测部105a、105b。在基部103的另一端部103b侧设有两块作为驱动部的弯曲振动片104a、104b，弯曲振动片104a、104b相对于基部103在垂直方向上延伸。在弯曲振动片104a、104b上，设有激励部106a、106b、106c、106d(例如专利文献1)。

对压电振动片100的动作进行说明。在相对于激励部106a、106b、106c、106d附加驱动电压时，弯曲振动片104a、104d分别沿箭头A、箭头B的方向弯曲振动。此时，如果压电振动片100在X-Y平面内沿箭头ω的方向进行转动，在各压电振动片104a、104b上就会被施加科里奥利(Coriolis)力，并且该科里奥利力被传递到基部103。由此，基部103以接续部分126为中心沿箭头D的方向进行弯曲振动。利用检测部105a、105b检测该基部103的弯曲振动，通过输出与所检测出的弯曲振动相对应的信号来检测旋转各速度。

另外，在振动型陀螺仪中，为使测量灵敏度良好，要求在弯曲振动片104a、104b的固有共振频率与作为检测部的基部103的固有共振频率之间具有一定的振动频差(以下称为“失调频率”)。另外，在振动型陀螺仪中，为防止因弯曲振动片104a、104b各自的固有共振频率的不同(不平衡)而产生的弯曲振动向基部泄漏传播，使弯曲振动片104a、104b的固有共振频率一致。这些固有共振频率的调节通过改变基部103以及弯曲振动片104a、104b的质量来进行。

例如，在图8所示的压电振动片100中，在基部103的另一端部103b侧，设有从弯曲振动片104a、104b突出来的突出部135。并且，通过实施从突出部135的一部分137除去质量的加工，来改变基部103的固有共振频率。另外，通过实施从各个弯曲振动片104a、104b的各前端侧的一部分136A、136B除去质量的加工，来分别独立地改变各个弯曲振动片104a、104b的固有共振频率。这些质量的除去加工，例如通过激光照射来除去在压电振动片100表面形成的薄膜等方式来进行。

专利文献1：日本特开平11-72334号公报

但是，在如上述那样的质量的除去加工中，在压电振动片100表面形成的薄膜的厚度大致均等，而且激光照射径也均等，因此，一次激光照射所除去的薄膜的质量大致一定。此处，由于压电振动片的制造偏差等造成每个压电振动片的所必须的质量变化量是不同的，大多需要大的质量变化。这样，在希望大的质量变化的情况下，即使能够除去大面积的薄膜，但用于加工大面积的加工时间会变长，或者，由于需要大的加工面积而阻碍了压电振动片的小型化。为应对这些，使用了将除去部的薄膜的厚度加厚、增大一次激光照射所除去的除去量的方法，但相反，却无法除去激光照射一次的质量除去量以下的细微质量，最后难以进行所必须的微调。换言之，存在很难同时进行大的固有共振频率的调节和细微的固有共振频率的调节的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，以便可改变使用质量除去装置所能够除去的最低除去量，从而能够进行各个固有共振频率的粗调和微调。