[发明专利]装片机出料推杆装置有效
申请号: | 201110071098.6 | 申请日: | 2011-03-23 |
公开(公告)号: | CN102157419A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 李金健;李城毅;钱小龙 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 雷志刚;潘士霖 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装片机出料 推杆 装置 | ||
1.一种装片机出料推杆装置,包括:
底座;
安装在所述底座上的气缸;
安装在所述气缸上的第一连接件;
第二连接件,一端安装在所述第一连接件上,另一端连接所述推杆;
推杆,一端具有推杆头,另一端连接所述第二连接件,所述推杆在在气流的作用下随所述气缸做水平往复运动;以及
安装在所述底座上且位于所述推杆头一侧的挡杆,当所述推杆随所述气缸向所述挡杆运动时,所述挡杆与所述推杆头相抵触以固定所述推杆头。
2.如权利要求1所述的装片机出料推杆装置,其特征在于,所述气缸包括活塞和移动体,所述活塞用于在气流的作用下带动所述移动体做水平往复运动,所述第一连接件安装在所述移动体上。
3.如权利要求2所述的装片机出料推杆装置,其特征在于,还包括传感器旗杆及用于感应所述传感器旗杆的第一限位传感器和第二限位传感器,所述第一、第二限位传感器分别安装在所述气缸底部的两侧,所述传感器旗杆安装在所述移动体的底部以在随所述移动体往复运动时分别接触所述第一限位传感器和第二限位传感器。
4.如权利要求1所述的装片机出料推杆装置,其特征在于,所述第二连接件和所述推杆之间安装有弹簧,用于在所述推杆头远离所述挡杆运动时下压所述推杆头。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造