[发明专利]光学零件多层镀膜新工艺无效
| 申请号： | 201110073358.3 | 申请日： | 2011-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN102692657A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 马云燕 | 申请（专利权）人： | 江苏双仪光学器材有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 零件 多层 镀膜 新工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学零件多层镀膜新工艺，包括抽真空工序和镀膜工序，其特征在于：所述镀膜工序的镀层为六层，第一层为H4，第二层为AL2O3，第三层为H4，第四层为AL2O3，第五层为H4，第六层为MgF2。
2.根据权利要求1所述的一种光学零件多层镀膜新工艺，其特征在于：所述各镀层的膜厚初始值依次分别为：0.5，0.5，1，0.5，0.5，1。
3.根据权利要求1所述的一种光学零件多层镀膜新工艺，其特征在于：所述抽真空工序的初始真空度为4.5*10-4Pa-7.0*10-4Pa。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种光学零件多层镀膜新工艺，其特征在于：所述镀膜工序的参数还包括温度、加氧量和镀膜速率，其温度控制为290-320度，加氧量为30-50标准毫升/分钟(sccm)，镀膜速率为0.5nm/s。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏双仪光学器材有限公司，未经江苏双仪光学器材有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110073358.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电感器的制作方法
- 下一篇：轴承连续注油机
