[发明专利]光刻设备对准方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻设备对准方法，特别涉及应用队列处理机制处理对准信号的光刻设备对准方法。

背景技术

专利CN200710045495X、CN2007100454964和CN200910200223.1都公开了结合多个对准信号获得对准位置的方法。工程实际中，为了提高对准效率，在同步谈判机制下，采用过渡轨迹平滑、高速无缝地衔接各个子光栅的扫描过程，以减少对准用时，如附图1中扫描子光栅MG1x、MG2x沿O1、O2、O3、O4的扫描轨迹，以及附图2中扫描子光栅MG1x、MG1y沿O1、O2、O3、O4的扫描轨迹。那么同时要求对准信号处理过程能够在时序上匹配，即在下一个子光栅扫描数据到来之前，完成上一个子光栅的数据处理过程。虽然在专利CN201010164981.5采用reduce过程(每次采样同时进行处理的手段)，以及采用更高速度的DSP芯片，但是，依然无法确保在两个子光栅扫描间隙能够彻底完成数据的处理。具体而言，即上一次拟合命令没有处理完，下一子光栅扫描的位置数据和光强数据已经到来，可能导致位置数据和光强数据的丢失。

发明内容

本发明解决的技术问题是光刻设备对准过程中，对准信号中的位置信号和光强信号由于处理速度导致的丢失问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻设备对准方法，包括：

光源与照明模块提供照明光束照射到对准标记上形成衍射光，所述对准标记位于硅片上，所述硅片位于运动台上；

位置采集与运动控制模块采集运动台的位置信息，与对准操作与管理模块同步谈判，控制运动台进行运动；

所述衍射光通过成像模块形成对准标记的像，所述对准标记的像扫描参考光栅的多个子光栅形成光强信号；

所述对准操作与管理模块采集运动台运动过程中的若干位置信号和对应位置的光强信号，由队列处理模块获得所述若干位置信号和对应位置的光强信号的拟合结果，所述队列处理模块包括拟合命令队列、位置光强队列和拟合结果队列，所述拟合命令队列、所述位置光强队列和所述拟合结果队列为环形队列或者链队列；

根据所述拟合结果计算所述对准标记的对准位置。

进一步，在所有步骤前，进行对准操作与管理模块初始化。

进一步，所述由队列处理模块获得所述若干位置信号和对应位置的光强信号的拟合结果，包括：

下发拟合命令到所述拟合命令队列；

读入所述位置信号和对应位置的光强信号，存储到所述位置光强队列；

读取所述拟合命令队列的拟合命令；

从所述位置光强队列中读取所述拟合命令对应的位置信号和对应位置的光强信号；

进行拟合，将拟合结果存储到所述拟合结果队列；

判断所述拟合结果队列是否为空，当所述拟合结果队列不为空时返回所述拟合结果。

优选的，对准系统开诊断时把原始数据和拟合过程中产生的中间数据分别存入所述拟合命令队列的诊断数据和过程数据中，对准系统通过所述诊断数据和所述过程数据追踪系统的问题和错误。

优选的，当所述拟合命令队列及所述拟合结果队列的大小为1时，所述队列处理模块在每次拟合完成返回所述拟合结果后再下发新的拟合命令。

优选的，在所述下发拟合命令到所述拟合命令队列之前，判断拟合命令队列是否为满，如果为满，不再下发拟合命令，等待所述队列处理模块处理拟合命令。

优选的，在所述读取所述拟合命令队列的拟合命令之前，判断拟合命令队列是否为空，如果为空，不再读取拟合命令，等待下发拟合命令。

优选的，在所述读入所述位置信号和对应位置的光强信号，存储到所述位置光强队列之前，判断所述位置光强队列是否为满，如果为满，不再读入位置信号和对应位置的光强信号，等待队列处理模块读取位置信号和对应位置的光强信号进行拟合。

与现有技术相比，上述光刻设备对准方法采用队列处理机制，在对准连续扫描的情况下，可以保证位置数据和光强数据的不丢失，提高了对准系统的稳定性，减小对准时间。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1为现有技术中对准系统参考光栅的一种扫描轨迹示意图；

图2为现有技术中对准系统参考光栅的另一种扫描轨迹示意图；

图3为现有技术中对准系统结构示意图；

图4为本发明应用图3中对准系统的对准方法框图；

图5为图4中队列处理模块的队列处理流程图；