[发明专利]基板搬运手和基板搬运机器人

权利要求书

1.一种基板搬运手，其包括：

手主体部；

第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；

第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及

可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其用于在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。

2.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

所述第三载置部被形成为在所述第四载置部移动到与所述手主体部的所述第一位置不同的第二位置时，在与所述第二基板的位置不同的位置上与所述第一载置部一起支撑所述第一基板。

3.根据权利要求2所述的基板搬运手，其中

当所述第四载置部移动到比其在所述第二位置时更接近所述第二载置部的所述第一位置时，所述第二载置部和所述第四载置部支撑所述第二基板，并且

所述第一载置部和所述第三载置部被形成为当所述第四载置部移动到比其在所述第一位置时更远离所述第二载置部的所述第二位置时，支撑所述第一基板。

4.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

所述第一载置部和所述第二载置部设置在互不相同的垂直位置上，

所述第三载置部和所述第四载置部设置在与所述第一载置部和所述第二载置部的垂直位置分别对应的垂直位置上，并且

所述第二载置部和所述第四载置部被形成为当所述第四载置部移动到所述手主体部的所述第一位置时，在与由所述第一载置部和所述第三载置部支撑的所述第一基板的垂直位置不同的垂直位置上支撑所述第二基板。

5.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

所述第一载置部和所述第二载置部设置在俯视图中相互错开的位置上。

6.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

所述第一载置部、所述第二载置部和所述第三载置部固定地设置在所述手主体部上，

所述第一载置部和所述第三载置部支撑所述第一基板，并且

所述第二载置部和所述第四载置部被形成为当所述第四载置部移动到所述手主体部的所述第一位置时，在与所述第一基板的位置不同的位置上支撑所述第二基板。

7.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

所述第一载置部和所述第二载置部一体地设置在所述手主体部的前端部侧，并且

所述第三载置部和所述第四载置部相互独立地设置在所述手主体部的基部侧。

8.根据权利要求7所述的基板搬运手，其中

所述第一载置部和所述第二载置部形成在台阶状的前支撑部上，

所述第一载置部设置在所述台阶状的前支撑部的第一台阶上，并且

所述第二载置部设置在所述台阶状的前支撑部的第二台阶上。

9.根据权利要求1所述的基板搬运手，其还包括按压部，所述按压部能够按压所述第一基板和所述第二基板，其中

所述第一载置部和所述第二载置部分别具有第一壁部和第二壁部，

所述第一载置部和所述第三载置部支撑处于由所述按压部压靠在所述第一壁部上的状态下的所述第一基板，并且

所述第二载置部和所述第四载置部被形成为支撑处于由所述按压部压靠在所述第二壁部上的状态下的所述第二基板。

10.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

所述第四载置部被形成为能够按压所述第一基板和所述第二基板，

所述第一载置部和所述第二载置部分别具有第一壁部和第二壁部，

所述第一载置部和所述第三载置部支撑处于由所述第四载置部压靠在所述第一壁部上的状态下的所述第一基板，并且

所述第二载置部和所述第四载置部被形成为支撑在处于所述第四载置部压靠在所述第二壁部上的状态下的所述第二基板。

11.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中

在所述第一载置部、所述第二载置部、所述第三载置部和所述第四载置部中的至少一个上设置有用于吸引基板的吸引孔。