[发明专利]基板搬运手和基板搬运机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板搬运手和基板搬运机器人，更具体地，涉及分别包括能够在其上载置基板的多个载置部的基板搬运手和基板搬运机器人。

背景技术

包括能够在其上载置基板的多个载置部的基板搬运手是很常见的。日本专利特许公开2001-274232公开了一种基板搬运手，其包括一对臂部(手主体部)和设置在所述一对臂部中的每个臂部上的多个晶片支撑部件。该基板搬运手形成为使得该一对臂部能够在相互靠近和远离的方向上移动。各个晶片支撑部件被形成为台阶状，使得能够在分别设置于其上下台阶处的第一把持部和第二把持部(载置部)上载置基板。为了在设置于上台阶处的第一把持部上载置相应的基板，基板搬运手通过移动该一对臂部来控制臂部之间的间隔，而调整晶片支撑部件的位置，以使基板的一端与第一把持部接触。为了在设置于下台阶处的第二把持部上载置相应的基板，基板搬运手通过移动该一对臂部来控制臂部之间的间隔，而进一步调整晶片支撑部件的位置，以使基板的一端与第二把持部接触。这样，基板搬运手利用两个不同的把持部(载置部)能够将基板支撑在不同的位置。

尽管日本专利特许公开2001-274232中描述的基板搬运手能够利用两个不同的把持部(载置部)来支撑基板，但是为了利用不同的把持部来支撑基板，必须通过移动一对臂部(手主体部)来控制臂部之间的间隔。因此，其不利之处在于：为了恰当地使用不同的把持部(载置部)来支撑基板，基板搬运手需要采用大型的结构。

发明内容

本发明旨在解决上述问题，并且本发明的目的是提供一种能够通过恰当地使用不同的载置部来支撑基板的基板搬运手，以及包括该基板搬运手的基板搬运机器人。

为了实现上述目的，根据本发明第一方面的基板搬运手包括：手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。

在根据本发明第一方面的基板搬运手中，如上所述，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部来支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同载置部来支撑基板。

根据本发明第二方面的基板搬运机器人包括：基板搬运手；以及控制部，其控制所述基板搬运手，其中所述基板搬运手包括手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。

在根据本发明第二方面的基板搬运机器人中，如上所述，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部来支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同载置部来支撑基板。在被用于将基板导入/导出处理装置时，基板搬运机器人例如能够搬运尚未经处理装置处理的未处理基板以及经过处理装置处理的处理后基板，并利用共用基板搬运手的不同载置部来支撑未处理基板和处理后基板，即使有异物附着到处理后基板或未处理基板也是如此。因此，采用共用基板搬运手的基板搬运机器人能够防止异物附着到未处理基板或处理后基板。

通过以下结合附图对本发明进行的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征、方面和优点将更加明确。

附图说明

图1是示出了包括根据本发明第一实施方式的基板搬运手的基板搬运机器人的整体结构的立体图；

图2是示出了采用根据本发明第一实施方式的包括基板搬运手的基板搬运机器人的装置的整体结构的平面图；

图3是示出了根据本发明第一实施方式的基板搬运手的立体图；