[发明专利]探测单元相对平行度调整装置

权利要求书

1.一种探测单元相对平行度调整装置，其能够调整探测单元相对于板构件的相对平行度，在所述板构件上设置有沿带状电极的宽度方向并列设置的多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述探测单元相对平行度调整装置的特征在于，包括：

对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；

检测部位不同的多个传感器，其至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离；

传感器输出取得单元，其取得从所述探针和所述带状电极之间从非接触状态开始到相对地接近并接触为止的位置变化期间中至少接触前后的来自所述各传感器的输出；和

调整参照信息形成单元，其根据所述传感器输出取得单元所取得的所述各传感器的输出，形成在所述探测单元的平行度调整中所参照的信息。

2.一种探测单元相对平行度调整方法，

其用于调整探测单元相对于板构件的相对平行度，在所述板构件上设置有沿带状电极的宽度方向并列设置的多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述探测单元相对平行度调整方法的特征在于，

设置对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构，并预先设置至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离的、检测部位不同的多个传感器，

传感器输出取得单元取得来自所述各传感器的输出，该输出是在所述探针和所述带状电极之间从非接触状态到相对地接近并接触为止的位置变化期间、至少接触前后的输出；

调整参照信息形成单元根据所述传感器输出取得单元所取得的所述各传感器的输出，形成在所述探测单元的平行度调整中所参照的信息。

3.一种记录着探测单元相对平行度调整程序的、计算机可读取的记录介质，该程序使能够调整探测单元相对于板构件的相对平行度的探测单元相对平行度调整装置所搭载的计算机起作用，所述板构件上，沿带状电极的宽度方向并列设置有多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述记录介质的特征在于，

所述探测单元相对平行度调整装置包括：对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；和至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离的、检测部位不同的多个传感器，

所述探测单元相对平行度调整程序使得所述计算机作为如下单元起作用：

传感器输出取得单元，取得从所述探针和所述带状电极之间从非接触状态开始到相对地接近并接触为止的位置变化期间中至少接触前后的来自所述各传感器的输出；

调整参照信息形成单元，根据所述传感器输出取得单元所取得的所述各传感器的输出，形成在所述探测单元的平行度调整中所参照的信息，

所述记录介质以计算机能够读取的方式记录着使计算机起上述作用的所述探测单元相对平行度调整程序。

4.一种探测单元，其设有探针，该探针与在带状电极的宽度方向上并列设置有多个所述带状电极的板构件的各所述带状电极接触，所述探测单元的特征在于，

至少设有3个传感器，所述传感器至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离。

5.一种板输送构件，在其上表面载置并保持板构件，并对所述板构件进行输送，所述板构件沿带状电极的宽度方向并列设置有多个所述带状电极，所述板输送构件的特征在于，

至少设有3个提供探测单元和所述板构件之间的距离信息的传感器，所述探测单元设有下降时与所述板构件的所述各带状电极接触的探针。