[发明专利]探测单元相对平行度调整装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种探测单元相对平行度调整装置、探测单元相对平行度调整方法、记录了探测单元相对平行度调整程序的记录介质、探测单元以及板输送构件，其可以适用于例如测定太阳能电池板的特性、检测短路部、或者去除短路部的装置。

背景技术

在制造使用非晶半导体等的薄膜太阳能电池板时，例如，在夹着用于发电的光电转换半导体层的基板侧电极和背面电极的电极之间、2个背面电极之间或者各层内等有时会产生短路部。例如，薄膜太阳能电池板是在1块玻璃基板上并列设置多个层叠有基板侧电极、光电转换半导体层以及背面电极的太阳能电池单元。例如，在基板上层叠基板侧电极、光电转换半导体层、背面电极等的工序对于多个太阳能电池单元是共通的，再将各层(含有电极)利用激光等切分，在相邻的太阳能电池单元之间形成沟槽(划线槽)，从而形成多个太阳能电池单元。有时该切槽工序不适当，可能会在相邻的太阳能电池单元之间产生短路部，或者在同一太阳能电池单元的基板侧电极和背面电极之间产生短路部。例如，在制造工序中，由于在光电转换半导体层形成小孔，或者混入杂质，可以会使相邻的太阳能电池单元之间或者同一太阳能电池单元的基板侧电极和背面电极之间产生短路部。

因此，需要进行确认短路部是否存在的测定，或者进行去除短路部的处理。

为了去除短路部，例如，在专利文献1中提出了去除太阳能电池的短路部的方法的方案。在去除该太阳能电池的短路部的方法中，通过在存在短路部的电极之间施加反向偏压，使得电流在短路部集中，利用由此而产生的焦耳热使得短路部的导通处飞散、或氧化，从而使短路部处于绝缘状态，以去除短路部。根据该专利文献1所公开的技术，分别使多个太阳能电池单元的背面电极与多个探针接触，通过在相邻的背面电极之间施加反向偏压，来向短路部流通电流。

在设于1块太阳能电池板的多个太阳能电池单元的每一个分别设有背面电极，例如，这些多个背面电极之间的短路部的去除可以同步进行。因此，提出了一种利用探测单元的短路部去除装置，该探测单元使得探针同时都与设置于1块太阳能电池板的整个面或者半个面等处的多列背面电极接触。例如，使探测单元下降，并使探针分别与例如配置于太阳能电池板整面的背面电极列的特定范围的背面电极列接触，向短路部施加反向偏压，然后，使探测单元上升，在去除了形成于太阳能电池板的整体范围的太阳能电池单元的短路部之后，将该太阳能电池板从短路部去除工序区域移出，接下来将下一个太阳能电池板搬入到短路部去除工序区域，以后反复实行相同的动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开平10-4202号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

太阳能电池单元的背面电极在其长度反向具有电阻，即使施加了规定的反向偏压，根据存在于太阳能电池单元之间的短路部的位置，有时由于背面电极的电阻所导致的电压损失，不能对短路部充分地施加反向偏压。因此，为了无论在任何位置产生短路部都可以施加几乎同级别的反向偏压，沿着背面电极的长度方向，几乎等间隔地配置有多个电压施加用探针。另一方面，一般太阳能电池板的长宽都有1m以上的长度，因此，被配置探针之间的最大分离距离也与太阳能电池板的大小相对应，在此例中大约达到1m。

如图1所示，对于要施加反向偏压的太阳能电池板1，在配置有多个探针的探测单元2处于倾斜(非平行)状态的情况下，伴随着探测单元2的下降的探针与太阳能电池板1的接触，从最下位置的探针3a首先开始接触，隔一段时间之后最上位置的探针3b随后接触。即使最下位置的探针3a首先接触，但探测单元2依然会持续下降，直到探测单元2的所有的探针、尤其是最上位置的探针3b与太阳能电池板1接触为止，首先接触的下方侧的探针3a等相对于太阳能电池板1以一定的角度接触，因此，该首先接触的下方侧的探针3a会由于探测单元2的下降动作而破损或弯曲。即使免于破损，通过上方侧的探针3b接触，太阳能电池板1与探测单元2趋向变为平行状态，也会以该探针3b的接触点为基点，对首先接触的探针3a施加力偶。在纠正该力偶的作用导致的弯曲时，探针3a的顶端摩擦所接触的背面电极的表面，使得背面电极受到损伤。

因此，探测单元2的相对配置最好尽可能地与太阳能电池板1平行。例如，将短路部去除装置设置在操作工序内时，需要充分地确认探测单元2是否与太阳能电池板1平行地安装，在平行度不足的情况下还需要调整等的操作。