[发明专利]可动狭缝刀片

权利要求书

1.一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场，其特征是，沿入射光方向包括：

透光板，用以传导入射光；以及

吸光片，用于吸收入射光；

其中，在所述透光板和所述吸光片的侧面还包括反光棱镜，所述反光棱镜与所述透光板之间具有一间隔，将所述入射光反射入所述透光板和所述吸光片。

2.根据权利要求1所述的可动狭缝刀片，其特征是，还包括：

弹性垫片，位于所述透光片和所述吸光片之间。

3.根据权利要求2所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述弹性垫片的材料为氟塑料。

4.根据权利要求1所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述反光棱镜镀有增反膜。

5.根据权利要求1所述的可动狭缝刀片，其特征是，还包括夹持装置，用于夹持所述透光板、所述吸光片和所述反光棱镜，所述夹持装置包括：

上夹具，位于所述透光板上方；

下夹具，位于所述吸光片下方。

6.根据权利要求5所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述夹持装置的材料为铝。

7.根据权利要求5所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述夹持装置还包括定位装置，位于所述吸光片和所述反光棱镜之间。

8.根据权利要求5所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述夹持装置还包括横梁，位于所述间隙下方，用以挡住所述入射光。

9.根据权利要求1所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述透光板的材料为石英。

10.根据权利要求1所述的可动狭缝刀片，其特征是，所述反光棱镜的材料为石英。