[发明专利]可动狭缝刀片

说明书

技术领域

本发明涉及一种可调整光刻机组件，且特别涉及一种可动狭缝刀片。

背景技术

扫描光刻机中，多个可动刀片形成可动狭缝，光刻机可以使用可动狭缝控制其扫描方向的视场位置与大小。光线被可动刀片挡住，从可动狭缝中透过。

对于可动狭缝存在以下不可避免的问题：1、可动刀片长时间处于曝光状态下受热变形以至无法到达其机械要求；2、可动刀片的反射光进入光路对曝光过程产生干扰。然而这2个问题同时也是互相矛盾的，要减小可动刀口的热变形就需要提高其反射率而降低其对光能的吸收，但是过多的反射光进入光路就影响了曝光的剂量控制精度。

目前业界对于解决以上问题还没有较好的方法。

发明内容

本发明提出一种可动狭缝刀片，能够解决上述问题。

为了达到上述目的，本发明提出一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场，沿入射光方向包括：

透光板，用以反射入射光；以及

吸光片，用于吸收入射光；

其中，在透光板和吸光片的侧面还包括反光棱镜，反光棱镜与透光板之间具有一间隔，将入射光反射入透光板和吸光片。

进一步说，可动狭缝刀片还包括：

弹性垫片，位于透光板和吸光片之间。

进一步说，弹性垫片的材料为氟塑料。

进一步说，反光棱镜镀有增反膜。

进一步说，可动狭缝刀片还包括夹持装置，用于夹持透光板、吸光片和反光棱镜，夹持装置包括：

上夹具，位于透光板上方；

下夹具，位于吸光片下方。

进一步说，夹持装置的材料为铝。

进一步说，夹持装置还包括定位装置，位于吸光片和反光棱镜之间。

进一步说，夹持装置还包括横梁，位于间隙下方，用以挡住入射光。

进一步说，透光板的材料为石英。

进一步说，反光棱镜的材料为石英。

本发明所提供的可动狭缝刀片，将吸光单元与反光元件分开设置，在可动狭缝周围的刀口部分(反光棱镜)将入射光反射出去，从而减少自身因受热的变形；在刀片中设置吸光片，最大限度地吸收入射光，不影响曝光精度，同时吸光片受热而造成的变形不会影响反光棱镜的位置。本发明的可动狭缝刀片保证了杂散光最小程度的进入曝光系统，提高了曝光剂量控制精度。同时，本发明的反光棱镜与其他部分分开设置，当反光棱镜由于曝光过度需要更换时，能够单独更换，从而提高了刀片的可维护性。

附图说明

图1所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的结构示意图。

图2a所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的俯视示意图。

图2b所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的正视剖面图。

图2c所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的左视剖面图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

请参看图1。图1所示为本发明实施例中可动狭缝刀片的结构示意图。

可动狭缝的一个刀片10的结构如图1所示，沿入射光方向设置有透光板2和吸光片3，另外，刀片10还包括反光棱镜1，位于透光板2和吸光片3的侧面，与透光板2之间具有间隔G。

透光板2例如是石英板，用以传导入射光。为了增加透光板2的透光能力，透光板2上可以镀有增透膜。

吸光片3例如是化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)金刚石片，这种材料对紫外线有非常弱的反射率，其吸收通过透光板2而入射的入射光。

反光棱镜1所反射的入射光进入透光板2和吸光片3中。反光棱镜1与透光板2之间具有间隔G，这种设置能够保证反光棱镜1所反射的光线能够耦合进入透光板2中，从而带走部分由反光棱镜1反射带来的杂散光。

为了保证反光棱镜1最大限度地将入射光反射出去，反光棱镜1可以镀有增反膜6。借助增反膜6，反光棱镜1将越多的入射光反射出去，就越能够避免自身受热变形。

由于可动狭缝刀片具有以上的结构，反光棱镜1将入射光反射至透光板2和吸光片3，透光板2将其中的入射光全部反射，而吸光片3将吸收射入其中的入射光，以保证最少的光被反射进入曝光系统，导致影响曝光剂量精度。