[发明专利]薄膜图案的制造设备和方法

权利要求书

1.一种薄膜图案的制造方法，所述方法包括：

在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂；

通过将压印模具与所述压印树脂接触，在所述基板上形成薄膜图案；以及

将所述压印模具从所述基板脱模。

2.根据权利要求1所述的薄膜图案的制造方法，其中涂覆所述压印树脂包括：

使喷射涂覆器对准在所述基板上；以及

使用所述喷射涂覆器在所述基板的边缘区域以外的其它区域上涂覆所述压印树脂。

3.根据权利要求1所述的薄膜图案的制造方法，其中所述压印树脂被涂覆在所述基板的临界尺寸为10-26mm的多边形的或者半圆形的边缘区域之外的其它区域上。

4.根据权利要求1所述的薄膜图案的制造方法，其中所述压印树脂与在所述基板的外侧区域中形成的遮光层交叠预定宽度，所述预定宽度为5mm或者更多。

5.一种薄膜图案的制造设备，所述制造设备包括：

涂覆部件，所述涂覆部件被配置为将压印树脂涂覆在基板的边缘区域以外的其它区域上；以及

压印系统，所述压印系统被配置为通过将压印模具与所述压印树脂接触而在所述基板上形成薄膜图案以及将所述压印模具从所述基板脱模。

6.根据权利要求5所述的薄膜图案的制造设备，其中所述涂覆部件将所述压印树脂涂覆在所述基板的临界尺寸为10-26mm的多边形的或者半圆形的边缘区域之外的其它区域上。

7.根据权利要求5所述的薄膜图案的制造设备，其中所述涂覆部件将所述压印树脂形成为与在所述基板的外侧区域中形成的遮光层交叠，交叠宽度为5mm或者更多。

8.根据权利要求5所述的薄膜图案的制造设备，其中所述压印树脂由不具有溶剂的液体聚合物前驱体形成以及所述涂覆部件是喷射涂覆器。